微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 吴经纬 徐英 李刚 杨会峰 王化祥
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  3-6
    摘要: 利用RNGκ-ε模型对100 mm口径锥体差压式流量传感器进行了CFD数值模拟实验,其等效直径比β值分别为0.50,0.65,0.85,前锥角分别为40°,45°,50°,后锥角分别为120...
  • 作者: 朴林华 王义
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  10-11,16
    摘要: 根据计算敏感元件内的流场分布解释微型气流陀螺的敏感机理.利用ANSYS-FLOTRAN CFD软件,根据陀螺实际尺寸进行建模求解,计算出在不同输入角速度时二维腔体中气体的流场及分布.计算结果...
  • 作者: 周志锋 蔡萍 陈佳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  31-33
    摘要: 提出一种通过自适应补偿提高长秤台汽车动态称重系统精度的方法.根据汽车动态称重两自由度模型,利用零、极点对消原理,设计校正滤波器,改善信号响应特性,使信号快速达到平稳状态.实验结果表明,本方法...
  • 作者: 刘盼刚 卞雷祥 文玉梅 李平 程磊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  43-44,55
    摘要: 将超磁致伸缩材料(GMM)、压电材料(PZT-5H)复合于弹性基板上,利用共振原理构造了一种新型的磁电换能器.当激励磁场的频率等于或者接近于弹性基板的固有频率时,GMM将驱动弹性基板振动并发...
  • 作者: 于海超 孙凤玲 方建雷 杨永刚 王金文
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  48-50
    摘要: 微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移.针对硅压阻式压力传感器这一"弱...
  • 作者: 万江文 于尚民 冯仁剑
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  56-59
    摘要: 采用状态空间分析法,研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性,实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离,制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性,在Simulink仿真...
  • 作者: 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  60-62
    摘要: 采用乙醇催化燃烧法,以钴盐作为催化剂先体、薄铜片作为基底制备碳纳米管.分别以氯化钴、硝酸钴和硫酸钴作为催化剂先体,研究了不同催化剂先体对碳纳米管生长的影响;利用扫描电镜,透射电镜对碳纳米材料...
  • 作者: 吕宇强 张伟 张绪瑞 杨海波 甄志成 胡明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  68-71
    摘要: 以多孔硅作为绝热层材料,采用超高真空对靶磁控溅射镀膜法,在多孔硅样品表面和硅基底表面沉积氧化钒薄膜.实验采用电化学腐蚀法制备多孔硅,利用场致发射扫描电子显微镜观测了孔隙率为50%,60%,7...
  • 作者: 冯彩慧 吴凤清 王竹仪 陈骋
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  105-107
    摘要: 以La(NO3)3×6H2O,Fe(NO3)3×9H2O和Co(NO3)2×6H2O为原料,采用柠檬酸盐法合成LaCo0.2Fe0.803纳米晶,用DTA,TGA对原粉形成纳米晶过程进行分析...
  • 作者: 任鹏飞 张红丹 朱光 李飞 王茂发 程进 邹小平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  111-112,116
    摘要: 介绍了采用浮动催化剂法,利用乙醇化学气相沉积法制备多壁碳纳米管.采用二茂铁作为催化剂先体,乙醇作为碳源,利用石英基底收集产物.催化剂先体二茂铁的蒸汽在载气的作用下被带到高温区(800℃),二...
  • 作者: 吴晓兵 朱炜 涂以鹏 高学山
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  146-149
    摘要: 研究以混合式光电电流互感器为代表的可靠、新型的高精度电流互感器已为大势所趋,其研制技术的关键是电流互感器的供电问题.设计了光电池电压自举电路,以保证光电池始终工作在效率最高点附近,解决了光电...
  • 作者: 滕淑芬 钱政
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  162-164
    摘要: 混合是固体火箭推进剂制造过程中的一个关键工序,需在线测量桨叶上的压力信号.为此,设计并实现了混合机桨叶状态的在线检测系统,对实现过程中的若干关键技术进行深入研究,系统通过了现场联调.最后对测...
  • 作者: 樊尚春 陶元芳 黄漫国
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  183-184,187
    摘要: 为了实现对起重机制动器性能试验和质量检测,设计了起重机制动器试验台信号采集系统.系统的温度、扭矩以及转速等反映制动器主要性能的数据都需要通过各种传感器得到,因此作为信号采集系统的重要组成部分...
  • 作者: 冯士维 庄四祥 张弓长 张跃宗 杨集 王承栋
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  196-197,209
    摘要: 分析了影响探测器响应度的各因素,在此基础上设计了InGaAs/InP PIN探测器的外延材料结构并优化了增透膜厚度和p-InP区欧姆接触电极图形的设计,以达到提高响应度的目的.采用MOCVD...
  • 作者: 文玉梅 李平 田卉 陈雨
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  203-206,224
    摘要: 根据前期对埋入混凝土立方体模块中的压电陶瓷应力及温度特性,提出了一种旨在监测混凝土结构内部静应力及温度的压电埋入式应力温度传感器.该传感器以混凝土为基底材料,以压电陶瓷为敏感单元,通过测量压...
  • 作者: 任天令 刘理天 方华军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  210-212
    摘要: 设计了一种硅基PZT压电悬臂梁式微麦克风.这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结...
  • 作者: 孙宝臣 张文涛 戴静云
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  222-224
    摘要: 光纤法珀传感器具有测量精度高、动态范围大、可单端检测等优点.针对白光干涉型法珀传感器,设计了一种基于体光栅的光纤传感器解调系统.该系统采用高性能体光栅和线阵CCD阵列实现了光谱的采集,并结合...
  • 作者: 庞程 杜利东 赵湛
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  245-248
    摘要: 风速风向参数的测量在气象测量中占有重要的地位.基于MEMS技术的固态风速风向传感器具有体积小、重量轻、成本低的优点.设计了两种基于MEMS工艺的固态测风传感器,即硅薄膜式测风传感器和硅悬梁式...
  • 作者: 李洋 许高斌
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  255-256,287
    摘要: 介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺.通过优化并联梳齿结构的几何尺寸,可以使微继电器的阈值电压降低到5V.该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造,同...
  • 作者: 严庆文 朱嘉林 李业隆 沈美娥 魏益群
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  260-262
    摘要: 以声表面波中的陀螺效应为理论基础,通过数值计算获得了LiNbO3基底上声表面波波速随基底转动速率的变化,以此为依据设计了一种双通道声表面波转速敏感结构,制作出双通道声表面波转速传感器.通过实...
  • 作者: 江世宇 王宏伟 腾功清 齐臣杰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  270-274,303
    摘要: 分析了旋转式硅微机械陀螺的工作原理,建立了该陀螺的数学模型,设计了其敏感结构,计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁扭转刚度、振动元件角振动阻尼系数等动力学参数,计算分析了陀螺的电...
  • 作者: 吴剑 张骅 沈广平 秦明 黄庆安
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  285-287
    摘要: 给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周.传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工,加工工...
  • 作者: 吕迎春 马福昌
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  339-341,350
    摘要: BLM(双层类脂膜)的金属支撑构成了一种电化学传感器.这种传感器的化学反应和电现象之间的转化,是通过金属对BLM的支撑来实现的,不同于经典的电化学换能器.用缬氨霉素修饰的BLM作为敏感膜,制...
  • 作者: 夏善红 孙辑舟 边超
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  370-372,386
    摘要: 采用MEMS工艺在硅衬底上制备了电极型免疫微传感芯片,重点探索了微传感器敏感表面抗体固定化的方法.尝试采用蛋白A与吡咯共同电化学聚合,进而由蛋白A结合抗体的方法,实现了抗体的固定.将该免疫传...
  • 作者: 何秀丽 张阳 李建平 李熙
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  393-396
    摘要: 基于单个商品化SnO2传感器,研究如何提高CO传感器抗H2干扰能力.利用多种周期性加热电压对传感器进行温度调制,通过实验对比,优选加热电压参数,在所选电压的调制加热下,获得传感器对CO/H2...
  • 作者: 于晓洋 唐文明 陈德运 韩优 黄家定
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  423-426
    摘要: 电容层析成像系统极板间的电容值相对于耦合电容相差近两个数量级,如何补偿耦合电容成为微小电容测量的难点之一.以12电极油水两相流电容层析成像系统为研究对象,在分析了电容层析成像系统原理的基础上...
  • 作者: 张福学 张金科 王领
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  427-429,437
    摘要: 介绍了利用旋转栽体自身旋转作为驱动力的硅微机械陀螺的相位提取技术.当陀螺的敏感轴平行于载体偏转平面时,硅摆所受的哥氏力最大,输出为正弦信号的峰值;当它的敏感轴和偏转平面垂直时,输出为正弦信号...
  • 作者: 刘利兵 褚金奎 赵开春 金仁成
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  453-456
    摘要: 针对研制仿生微纳导航传感器的需要,设计了一种基于虚拟仪器的仿生偏振光测试系统.介绍了仿沙蚁偏振光测试模型及装置,给出测试系统的总体框架,对系统的硬件设计和基于Lab-VIEW的软件开发进行了...
  • 作者: 吴小俊 张媛媛 於东军 杨静宇 王士同 郑宇杰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  465-469
    摘要: 对基于模糊神经网络的人脸图像分类器进行研究.将多输入单输出模糊推理系统改造成多输入多输出的模糊神经分类器,并提出了一种改进的模糊神经分类器,改进模型的计算量明显减少.在将模糊规则库与训练样本...
  • 作者: 葛文涛 邓正隆 高玉凯
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2007年7期
    页码:  486-489
    摘要: 通过对激光陀螺机抖构件谐振频率和抖动幅值温度特性的分析,初步提出了利用稳幅、稳频控制等措施来改善系统性能的思想.基于两种温度模型的比较研究,给出了温度模型的选择准则,并对系统测试设备及温度试...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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