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微纳电子技术2008年第4期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 多晶Si薄膜对可见光进行有效地吸收、光照稳定性好、制作成本低,被公认为是高效率和低成本的光伏器件材料.以提高多晶Si薄膜太阳电池转换效率为主线,介绍了增大晶粒尺寸以增加载流子迁移率、进行表面...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 基于通信系统中射频电路设计的特殊要求,对小尺寸(基区宽度低于100 nm)、超高频(特征频率高于15 GHz)双极晶体管工艺制程和器件的物理特性进行了模拟,为工艺线流片进行可行性研究.该器件...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 以单电子晶体管为研究对象,系统阐述了库仑阻塞、库仑台阶、单电子隧穿等物理现象的产生机理.微观模拟与宏观建模相结合,着重介绍了如何用蒙特卡罗方法和Matlab相结合对上述各种物理现象进行数值模...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 利用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜.对平面ZnO薄膜进行短时间弱酸腐蚀,可以获得绒面效果的ZnO透明导电薄膜.分析了工作气压和衬底温度对薄膜绒面结构的影响,获得了...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 以硝酸铋和硫酸钛为原料,通过直接投料微波辐射水解合成法制备了掺铋TiO2纳米复合物,并用XRD、TEM进行了表征.结果表明,直接投料摩尔比为1:10掺铋TiO2纳米复合物,经500℃热处理后...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件.与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比,MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器,它没有活动质量,无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量.分析了该器件的工作原理.设计了器件结构,进行了工艺开发,加工出...
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8. 纳米光刻对准方法及其原理刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 对准技术对光刻分辨力的提高有着重要作用.45 nm节点以下的光刻技术如纳米压印等,对相应的对准技术提出了更高的要求.对光刻技术发展以来主要用于接近接触式和纳米压印光刻的对准技术做总结分类,为...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 通过改变温度,用腐蚀的方法制备出用于近场光学显微镜的光纤探针.通过控制光纤在不同温度的腐蚀液中腐蚀的时间,制备出多种形貌的光纤探针,所制作探针的锥形过渡区短而锥角大.该法具有重复性高、探针形...
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10. 一维纳米结构的拉伸力学测试刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 对一维纳米结构开展轴向拉伸测试时,面临着样品制备、装载、拉伸、样品的轴向应力与应变的高精度测量等难点,解决途径包括改造现代显微仪器、研制MEMS力学测试芯片及发展一维纳米样品的制备与装载技术...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要： 分别采用射频磁控溅射、热壁化学气相沉积(CVD)、电泳沉积法制备GaN薄膜.利用扫描电镜(SEM)、荧光光谱仪对样品进行结构、形貌和发光特性的分析比较.射频磁控溅射方法中,把SiC中间层沉淀...
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12. 国际视点刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要：
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13. 业界快讯刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要：
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14. 《微纳电子技术》征稿启示刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2008年4期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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