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微纳电子技术2012年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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31. MEMS微型热管研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年3期页码:摘要： MEMS微型热管作为一种新型的热管技术,在微电子、光电池、红外探测头和激光二极管等的热控制方面具有很大的应用前景.首先,介绍了MEMS微型热管的特点和基本工作原理,简单回顾了其发展历程.然后...
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32. 石英微机械陀螺的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 首先介绍了石英微机械陀螺基于压电效应和科氏加速度的工作原理,回顾了石英微机械陀螺的发展历程,并且介绍了石英微机械陀螺的国内外发展现状.然后,针对石英微机械陀螺不同的结构进行了分类,并且对于不...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 通过分别改变电感耦合等离子体(ICP)刻蚀过程中的ICP功率和DC偏压,对ICP刻蚀GaN材料的工艺条件和损伤情况进行了系统的研究.刻蚀后表面的损伤和形貌通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 以SU-8作为结构材料,采用紫外光刻工艺,尤其以斜曝光工艺为主,加工出主光轴平行于衬底基片的微透镜阵列,单个微透镜的直径大约为500 μm.初步确定出加工此透镜所需要的曝光剂量、前烘时间、后...
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35. NiCu双金属电极电催化析氢刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 采用恒电流共沉积方法制备了具有纳米结构的NiCu双金属电极.采用线性扫描、塔菲尔曲线、电流时间曲线及电化学阻抗谱对NiCu双金属电极电催化析氢的性能进行了测试；并且还利用X射线衍射(XRD)...
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36. 铌酸锂干法刻蚀的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 概述了近年来国内外对铌酸锂(LN)晶体干法刻蚀技术的研究进展.根据刻蚀原理和特点,现有的LN干法刻蚀技术可分为等离子体刻蚀、激光微加工技术和Ti扩散电化学刻蚀.对各刻蚀方法及其研究进展进行了...
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37. 硫化镉晶片抛光工艺研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年3期页码:摘要： 研究了硫化镉(CdS)晶片Cd面的化学机械抛光(CMP)工艺.采用硅溶胶抛光液和NaClO氧化剂,分别使用聚氨脂和磨砂革抛光垫进行粗抛和精抛实验,并研究了氧化剂掺入量、抛光转速、抛光压力等工...
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38. 量子点外延生长新模型(续)刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 介绍了一种量子元胞自动机(QCA)可编程逻辑阵列结构,该结构可用于实现量子元胞自动机大规模可编程逻辑电路,采用QCADesigner仿真软件研究了元胞缺失、移位缺陷和未对准缺陷对可编程逻辑阵...
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40. 基于纳米颗粒的铜锌锡硫硒薄膜制备刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 采用热注入法制备了Cu2ZnSnS4 (CZTS)纳米颗粒,并形成高分散、稳定的“墨水”,采用滴注方法形成CZTS前驱体薄膜.利用X射线衍射(XRD)、拉曼光谱(Raman)、透射电子显微镜...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理方法,在广义梯度近似下计算了Fe中掺Cr或Ni时S原子在Fe (100)面吸附的结构和电子性质,并计算了其分子轨道和吸附能.结果表明:S原子均是吸附在H...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 采用磁控溅射法,以Si粉和溅金Si (111)为原料,加入C粉,在Si (111)衬底上制备无定形SiO2纳米线.首先,在Si (111)衬底上分别溅射厚度为18和36 nm的Au.然后,在...
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43. 振动驱动微能源技术研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 首先介绍了微能源的几种类型,比较了不同类型微能源的优缺点.振动式微能源具有体积小、重量轻、能量密度高、寿命长、无污染和对环境适应性强等优点,详细描述了静电转换型、电磁转换型和压电转换型三种振...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 利用压电材料制作的器件采集环境中的振动能量,并转化为电能的微尺度器件正日益受到广泛关注.通过有限元仿真分析,研究了新颖的垂直式纳米线阵列结构(VING)和常见的压电悬臂梁结构的能量收集性能....
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 采用磁控溅射、光刻、离子束刻蚀和剥离工艺等工艺和方法,制备了多层膜结构的巨磁阻(GMR)生物传感器件,并利用此种传感器来检测甲胎蛋白.在传感器表面通过生物处理固定甲胎蛋白单克隆抗体(McAb...
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46. 干冰微粒喷射清洗技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 简要介绍了随着工艺节点的缩小,传统RCA清洗方法在硅片清洗工艺中的局限性和弊端,进而提出了以CO2为介质的新型干冰微粒喷射清洗方法.从CO2的物理特性出发,论述了CO2流经喷枪后形成干冰微粒...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶技术,在Pt (111) /Ti/SiO2/Si (100)基底上制备Pb0.97La0.02(Zr0.95Ti0.05)O3反铁电厚膜材料,研究了单步和多步退火工艺对反...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 对基于连续型、时变型及与其他力场联用的三类介电电泳颗粒分离技术进行了综述.分析表明,连续型介电电泳的分离效果较好,但形式较为单一,一般为二元或顺序分离;时变型介电电泳则可以结合不同特点的分离...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年4期页码:摘要： 依据铝的电化学腐蚀特性,阐明了碱性条件下铝化学机械抛光(CMP)的机理.由于铝的硬度较低,在抛光过程中容易产生微划伤等缺陷,因此首先探索出适宜铝化学机械抛光的低压条件(4 psi,1 psi...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 首先介绍了昆虫微机电混合系统领域的研究背景与研究动态,概述了昆虫微机电混合系统的原理及主要优势,分析了昆虫微机电混合系统的关键技术.由于昆虫微机电混合系统是生物领域与MEMS领域的交叉融合,...
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51. 有机场效应晶体管最新实验研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 介绍了近两年新报道的有机半导体材料,列举了其场效应性能参数；综述了有机场效应晶体管(OFET)在器件结构上的改进,重点阐述了基于常见有机功能层材料富勒烯及其衍生物、并五苯、聚3-己基噻吩的O...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 微机电系统和集成电路中常用的热氧化SiO2是各向同性材料,研究了其在单轴应力场中介电常数的变化规律.依据介质在自由和束缚两种边界条件下受到单轴应力作用产生的应变不同,从电动力学基本关系出发推...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 采用水热法一步合成出TiO2单晶纳米棒有序阵列,进而制备出染料敏化太阳电池.重点探讨了退火时间变化对电池光电转化效率的影响.研究结果表明,与未退火的纳米棒组装而成的电池相比,退火后的纳米棒电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 提出了一种基于机械杠杆放大机构的微机械陀螺设计方案,用于提高微机械陀螺的灵敏度和精度.该杠杆放大机构使用在陀螺的驱动模态中,通过杠杆将驱动梳齿位移放大后传递到质量块上,在陀螺驱动模态谐振频率...
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55. MEMS谐振器的并联电容噪声抑制刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 由于谐振频率和谐振器质量呈线性关系,基于MEMS谐振器的等效机械和电路模型,可用于质量传感器应用.然而,动态模式下的MEMS谐振器具有容性传导特性,其两端口结构在电极之间会存在并联电容,扭曲...
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56. 聚酰亚胺微刻蚀加工工艺研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 研究了RIE刻蚀聚酰亚胺的刻蚀速率、刻蚀表面粗糙度与不同加工工艺参数(包括射频功率、腔室压力、刻蚀气体成分等)之间的相互关系.刻蚀速率与射频功率、腔室压力都呈线性关系,与气体成分的关系是低S...
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57. 侧墙技术在相变存储器中的应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 从相变存储器(phase change random access memory,PCRAM)的基本结构和工作原理出发,首先介绍了PCRAM的技术优势、面临的技术挑战、常用的解决策略以及存在...
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58. 纳秒激光电化学复合掩模的微细加工刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 在激光传输光路中加入掩模对激光束进行空间调制,采用纳秒脉冲激光器、纳秒脉冲电源和1 mol/L的NaNO3电解液对304不锈钢进行掩模微刻蚀加工试验研究.利用伏安法测定304不锈钢阳极电流随...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 在极大规模集成电路Cu布线的化学机械平坦化过程中,抛光后表面薄膜厚度的一致性是检验平坦化能力的重要参数.从抛光过程中晶圆所受背压方面着手,研究了在不同背压参数情况下抛光后表面薄膜的一致性,得...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2012年5期页码:摘要： 为维持MEMS硅微陀螺的真空度,利用两次硅-玻璃阳极键合和真空长期维持技术,实现了MEMS硅微陀螺的圆片级真空气密性封装.制作过程包括:先将硅和玻璃键合,在硅-玻璃衬底上采用DRIE工艺刻蚀...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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