微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年5期
    页码:  350-352
    摘要:
  • 作者: 彭英才 江子荣 王峰 蒋冰 陈乙豪 马蕾
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  353-359,374
    摘要: 中间带太阳电池是为了充分利用太阳光谱中的红外光子能量而提出的一种高效率新概念太阳电池.介绍了中间带太阳电池的能量上转换原理、量子点中间带的物理优势、量子点中间带太阳电池的结构组态和理论转换效...
  • 作者: 刘明 刘璟 刘紫玉 张满红 杨建红 白杰 霍宗亮
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  360-368
    摘要: 随着非挥发性存储器(NVM)存储单元的特征尺寸进入20 nm节点,使用单层SiO2作为阻挡层的传统电荷俘获存储器结构性能上逐渐受到限制.基于阻挡层在存储器栅堆栈中的作用与基本要求,首先,指出...
  • 作者: 吕洪君 岳洋洋 解光军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  369-374
    摘要: 针对量子元胞自动机(QCA)电路中电路单元复杂化能提高电路可靠性的假设,采用概率转移矩阵对一种改进后的QCA共面交叉电路单元及原始电路单元的可靠性进行对比分析,以检验复杂化设计能否提高电路可...
  • 作者: 刘琨 张鹏 潘亚武 相文峰 赵昆
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  375-381,405
    摘要: 基于国内外一维纳米材料器件的最新研究进展,系统综述了近年来一维纳米材料的排列方法,并介绍了磁场排列法、电场排列法、微流法、Langmiur-Blodgett等方法的原理和优缺点.同时,指出了...
  • 作者: 代月花 曾叶娟 陈军宁
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  382-387,395
    摘要: 电荷陷阱存储器(CTM)由于其分离式电荷存储原理,可以使存储器件尺寸持续小尺寸化,理论上解决了传统浮栅存储器小尺寸化瓶颈的限制.基于第一性原理,从理论上对CTM材料及相关结构进行了模拟计算,...
  • 作者: 张严波 徐锐 李小明 杨富华 王晓东 陈燕坤 韩伟华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  388-395
    摘要: 综述了用于硅基太阳电池高效陷光的四种表面纳米织构,即金属纳米颗粒、纳米线、纳米锥和纳米孔.相对于其他三种表面纳米织构,纳米孔具有更好的结构特性和陷光能力.详细介绍了各种表面纳米织构的制备方法...
  • 作者: 吴嘉丽 张莉 王超
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  396-400
    摘要: 低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置.为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件的成品率,提出了防粘连的梯形凸台结构.该结构尺寸约为135 μm×1...
  • 作者: 李薇 王宁博 王晶龙 黎永前
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  401-405
    摘要: 提出了一种由金属光栅和流体光波导结构组成的,基于表面等离子渡耦合的光栅耦合器.利用光栅的衍射效应,将金属光栅与介质分界面之间产生的表面等离子波耦合到流体光波导中,并且能够沿着流体光波导稳定地...
  • 作者: 傅云霞 吴俊杰 李源 蔡潇雨 雷李华 高婧
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  406-412
    摘要: 重点研究了纳米尺度标准样片的光学表征方法.采用基于纳米测量机(NMM)的激光聚焦传感器(LFS)和扫描白光干涉传感器(SWLIS)分别对平面尺度的标准样片和台阶标准样片进行了测量、分析与比较...
  • 作者: 刘鹏 戴晓涛 李悦 李静 田大宇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  413-416
    摘要: 以HBr作为刻蚀气体,采用ICP金属刻蚀系统对气体流量、刻蚀压力、离子源功率、偏压功率等工艺参数与刻蚀速率、刻蚀选择比和侧壁垂直度的对应关系进行了大量工艺实验.借助理论分析和工艺条件的优化,...
  • 作者: 许海霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年6期
    页码:  417-422
    摘要: 采用改进的St(o)ber方法-种子颗粒生长法合成高单分散性、尺寸可控的SiO2微球,该方法克服了St(o)ber方法中SiO2胶体微球成核迅速、对反应条件敏感使最终微球粒径难以控制的缺点,...
  • 作者: 吴东岷 李加东 薛伟 谢杰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  425-432
    摘要: 目前AIGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)生物传感器表面修饰及分子识别元件固定需在金属或氧化物门电极上进行,针对金属或氧化物门电极的存在增加了器件的制作难度,提高了制作成本,同时还...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  432,466
    摘要:
  • 作者: 孟军华 宋维 尹志岗 张秀兰 白一鸣 高红丽
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  433-437
    摘要: 研究了Au纳米颗粒表面等离激元增强聚噻吩(P3HT)与富勒烯衍生物(PCBM)共混体系聚合物太阳电池的光电转换效率.Au纳米颗粒表面由双十烷基二甲基溴化铵(DDAB)修饰,能够均匀分散在活性...
  • 作者: 常胜 张亚军 王豪 王高峰 黄启俊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  438-443,477
    摘要: 石墨烯器件作为下一代纳米电子器件的有力竞争者受到广泛关注,但对其器件工作机理的研究尚不透彻.对石墨烯纳米带场效应晶体管(graphene nanoribbon field effect tr...
  • 作者: 倪晓明 王宏伟 王小妮 王芩 齐臣杰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  444-448,490
    摘要: 中间带太阳电池是第三代光伏发电研究中很热门的研究领域之一.论述了中间带太阳电池的原理,以及实现中间带材料的三种方法,即量子点中间带电池、杂质带电池、高失配合金.量子点中间带太阳电池的红外吸收...
  • 作者: 何秀丽 李建平 贾建 赵燕 高晓光
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  449-453
    摘要: 研究了一种基于静电纺丝纳米纤维制备异质结薄膜的方法.采用静电纺丝技术在硅衬底上依次沉积PVP/CuCl2·2H2O和PVP/SnCl4·5H2O纳米纤维,经过氧等离子体刻蚀并高温退火处理后得...
  • 作者: 刘俊华 夏勇 张柏林 董晓东
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  454-461
    摘要: 金属量子线材料因具有独特的机械、电、磁等特性而具有重要的应用价值,是当今介观物理学研究的前沿领域,已成为基础研究与应用研究的热点.综述了国内外金属量子线材料的制备方法,主要包括机械可控断裂结...
  • 作者: 杨秋格 欧阳群波 潘志安 王茂发 程进 袁静 邹小平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  462-466
    摘要: 采用催化化学气相沉积法,以乙醇作为碳源,二茂铁为催化剂前驱体,高纯度的N2和3%H2/Ar为载气,在反应温度850℃下,制备出了高质量的单壁碳纳米管.采用该方法制备单壁碳纳米管,具有反应温度...
  • 作者: 司朝伟 宁瑾 康中波 赵永梅 钟卫威 韩国威
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  467-470
    摘要: 采用与IC工艺兼容的硅表面MEMS加工技术,以碳化硅材料作为结构材料,研制出一种新型的基于谐振原理工作的RF MEMS滤波器.详细介绍了器件的工作原理、制备方法、测试技术和结果,并对测试结果...
  • 作者: 刘彦伯 周伟民 张剑平 张燕萍 张静 施利毅 王金合 赵彬
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  471-477
    摘要: 从主体树脂性质、光引发剂的选择、助剂的选择、溶剂的设计等多个方面论述了含氟纳米压印光刻胶的研制工艺.在纯有机材料为主体的光刻胶中引入了全氟丙烯酸酯助剂,解释了含氟助剂在光刻胶中的作用.使用接...
  • 作者: 何佳 邱海宁 郑祺
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  478-482
    摘要: 简要介绍了纳米晶硅薄膜的微结构表征方法,重点讨论了PECVD制备方法中工艺参数对薄膜结构的影响,并探讨了氢在薄膜形成和生长中的作用.通过优化氢稀释率、衬底温度、反应气压、激励功率和激发频率等...
  • 作者: 曹燕强 李爱东
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年7期
    页码:  483-490
    摘要: 等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种低温制备高质量超薄薄膜的有效手段,近年来正受到工业界和学术界广泛的关注.简要介绍了PEALD的发展历史和生长原理.描述了PEALD常见的三种设备构造...
  • 作者: 常胜 王豪 王高峰 邓雄彰 黄启俊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年8期
    页码:  493-497,533
    摘要: 在传统硅基器件日益趋近物理极限的背景下,石墨烯场效应管作为一种新型纳米器件受到了广泛关注.以漂移-扩散传输理论为基础,得到了石墨烯场效应管的漏电流解析表达式,并以此建立了适合电路设计的石墨烯...
  • 作者: 张亚非 李翔 耿会娟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年8期
    页码:  498-502,556
    摘要: 针对目前基于p型硅片制备的单结太阳电池进一步提高表面钝化膜生产效率,利用氮化硅(SiNx)薄膜良好的钝化效果与价格低廉的二氧化钛(TiO2)膜,降低SiNx镀膜厚度减薄对少子寿命的影响.在单...
  • 作者: 于晶荣 吴伟标 曹一家 王一军 谢慧娟 韩华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年8期
    页码:  503-509,547
    摘要: 宽禁带SiC材料被认为是高性能电力电子器件的理想材料,比较了Si和SiC材料的电力电子器件在击穿电场强度、稳定性和开关速度等方面的区别,着重分析了以SiC器件为功率开关的电力电子装置对电力系...
  • 作者: 冯佳 张波
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年8期
    页码:  510-515,541
    摘要: 探讨了基于金属钒亚微米结构的表面等离子体宽带广角红外光吸收器,它由置于表面涂覆介质层的金属钒衬底上方周期性排列的无限长钒条构成.使用有限元方法计算了其吸收谱,当P极化平面电磁波以小角度(小于...
  • 作者: 任淑霞 张洪波 李敏 杨涛 杨超 沈福刚
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年8期
    页码:  516-521
    摘要: 在溶菌酶水溶液中,用NaBH4原位还原HAuC14得到了溶菌酶稳定的金纳米颗粒.这些溶菌酶稳定的金纳米颗粒具有亲水性、生物兼容性以及良好的溶胶稳定性.紫外-可见光谱、透射电子显微镜以及动态光...
  • 作者: 关磊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年8期
    页码:  522-525,552
    摘要: 碳纳米薄膜是一种新型碳纳米材料,因其具有优良的物理和化学性能、很好地应用前景而受到了广泛关注.综述了无定形碳膜、石墨烯膜、类金刚石碳(DLC)膜、金刚石膜、CNx膜和碳纳米管(CNT)膜的制...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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