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微纳电子技术2016年第1期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 随着特征尺寸的不断缩减,器件结电容减少、工作电压降低,使纳米CMOS电路对单粒子效应(SEE)更加敏感,同时伴随着明显的单粒子串扰、多结点翻转等现象,严重影响其工作可靠性.基于纳米CMOS电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： Josephson环耦合的量子细胞神经网络(QCNN)将是未来纳米级细胞神经网络(CNN)的一个新的发展方向.基于两细胞耦合的量子细胞神经网络混沌系统,提出了一种参数不确定的混沌函数投影同步...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 研究了类场自旋转移力矩(STT)和极化层磁矩偏角对CoFeB-MgO-CoFeB磁隧道结中阈值电流密度以及翻转时间的影响.基于Landau-Lifshitz-Gilbert-Slonczew...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 为了进一步改善Si/SiC异质结光电二极管的性能,采用类似掺杂超晶格的结构,将Si层由多个具有量子尺寸的p型薄层和n型薄层周期性地叠合而成,在Si层中形成一系列不同层的电子势阱和空穴势阱,以...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 在微尺度方面,力反馈能实现有效和可靠的操作,陈述了基于压阻式微悬臂梁传感器在微操作方面对酵母菌弹性模量的定量测量.采用惠斯通电桥采集微悬臂梁传感器信号,通过信号调理电路模块可以实现高分辨率的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 根据国内医疗应用市场对电子听诊器的需求,结合压阻原理与MEMS加工技术设计了一种具有体积小、灵敏度高等优点的MEMS电子听诊器.该听诊器可通过内部MEMS微结构接收心音并完成声电换能,所产生...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 综述了纳米发电机的技术发展状况,系统介绍了纳米发电机的分类及工作原理,阐述了不同种类纳米发电机的特点和适用范围.基于国内外关于纳米发电机的研究,重点分析了纳米发电机的发电特性,对比了不同种类...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 研究了激光掺杂选择性发射极太阳电池工艺中不同激光功率对磷原子掺杂浓度、硅片表面损伤程度的影响及发射极方阻与电池串联电阻随激光功率的变化情况.通过对磷原子浓度分布曲线的观察,阐明了磷原子浓度对...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 研究了铜互连层在化学机械平坦化(CMP)后表面残余缺陷的去除机理,并采用以碱性螯合剂(FA/O Ⅱ型)和非离子表面活性剂(FA/O Ⅰ型)为主的碱性清洗液清洗其表面,然后用缺陷检测系统和扫描...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 铝栅化学机械平坦化(CMP)是实现高k介质/金属栅结构的关键技术,决定了芯片上器件性能的完整性、可靠性.针对铝的特性,以质量传递和温度传递理论作为依据,采用控制化学作用与机械作用相平衡的平坦...
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11. 亚微米间距PECVD填隙工艺研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 将半导体制造中常规的等离子增强化学气相淀积(PECVD) SiO2工艺和等离子反应离子刻蚀(RIE) SiO2工艺结合起来,利用三步填充法实现亚微米间距的金属间介质填充制作.此方法有效解决了...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2016年1期页码:摘要： 利用热蒸发法制备一维β-Ga2 O3纳米材料.不同反应温度下,利用该方法对Ga单质和Au覆盖的Si(111)基片在通氮气的石英管中加热不同时间,制备了β-Ga2 O3纳米材料,并通过扫描电子...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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