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微纳电子技术2017年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 以喷墨打印制备的共轭有机小分子2,7-二辛基[1]苯并噻吩并[3,2-b]苯并噻吩(C8-BTBT)作为有机薄膜晶体管(OTFT)的有源层,分别采用紫外臭氧处理、旋涂聚(4-乙烯基苯酚)(P...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 研制了一种用于促黄体生成素(LH)检测的电化学免疫传感器,实现了促黄体生成素的高灵敏度和快速检测需求.采用纸基免疫传感器作为基底材料,氨基化石墨烯(NH2-G)/硫堇/纳米金复合物修饰的丝网...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 为了降低温度对MEMS陀螺仪测量的影响,提高自制惯性测量系统的测量精度,研究了三轴MEMS陀螺仪的零偏、比例因子、安装误差等参数受温度影响的特性,建立了带有温度参数的三轴MEMS陀螺仪误差模...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 在原子层沉积(ALD)的腔室内,采用直流辉光放电技术,以N2等离子体作为掺杂源制备了氮掺杂石墨烯,考察了电场方向和掺杂时间对石墨烯的掺杂特性影响.喇曼光谱和高分辨率X射线光电子能谱(XPS)...
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65. 基于SEM图像的自动对焦技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 针对扫描电子显微镜(SEM)自动对焦技术对噪声敏感,计算量大,从而影响SEM自动对焦的准确性和实时性,提出一种基于SEM图像的自动对焦技术.该技术采用基于拉普拉斯高斯算子和局部方差相结合的对...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 有机残余(主要是苯并三氮唑(BTA))和铜表面腐蚀是多层铜布线化学机械抛光(CMP)后晶圆缺陷中的两个重要问题,针对BTA去除和铜表面腐蚀抑制提出了一种新的碱性清洗剂.该清洗剂主要由FA/O...
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67. 一种改进的穿硅电容三维互连技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 针对硅通孔(through-silicon via,TSV)背面通孔外露工艺复杂度与成本较高、易遗留工艺隐患的问题,提出一种改进的穿硅电容(through-silicon capacitor...
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68. 石墨烯湿法转移过程工艺优化刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 石墨烯的转移过程决定着石墨烯的品质,进而对石墨烯基器件的性能有重要的影响.针对化学气相沉积(CVD)法生长的石墨烯在湿法转移过程中存在的问题,在常规湿法转移的基础上进行了优化研究.实验结果表...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 采用磁控溅射法在单晶硅基片上制备铝膜,并结合光刻技术将擒纵机构图形转移到铝膜.利用铝膜不与刻蚀气体反应的特性,将其取代光刻胶作为深度等离子体反应刻蚀制备擒纵机构时硅基片的掩蔽层,并且采用干氧...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年8期页码:摘要： 采用电沉积法制备的镀Ni超细孔径(5 nm)的多孔阳极氧化铝(PAA)薄膜系列,显示出鲜艳而多样的结构色.Ni沉积在超细孔径的多孔阳极氧化铝(UPAA)模板的表面上,形成了孔隙率很大的网状镀...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 碰撞电离晶体管(IMOS)在高速、低功耗领域具有很好的应用前景.以优化传统IMOS的工作电压为目的,介绍了一种基于绝缘体上Ge的碰撞电离晶体管(GOI IMOS),利用Synopsys公司的...
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72. 石墨烯对多孔硅光学性能的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 采用电化学腐蚀法,通过改变腐蚀电流密度制备出不同孔径的多孔硅衬底.通过荧光分光光度计对多孔硅进行光致发光性能测试,测试结果发现腐蚀电流密度会对其光致发光性能产生影响,当腐蚀电流密度为30 m...
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73. 可延展柔性电子基底微观分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 可延展柔性电子产品在可穿戴电子、柔性显示和医疗等领域中具有很大的应用潜力.在可延展柔性电子的应用中,可延展柔性电子基底与互连导线之间的可靠性研究受到越来越广泛的关注.以可延展柔性电子界面为研...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 研究一种基于电磁驱动微光机电系统(MOEMS)光开关阵列的串联集成波长选择开关结构,经过理论分析与计算,得出螺旋形线圈在相同电流密度下相比于八边形和四边形线圈能得到更大的电磁力;通过模态分析...
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75. 核磁共振陀螺仪研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 核磁共振陀螺(NMRG)是基于量子原理的陀螺仪,具有高精度、体积小、抗干扰能力强等特点,是陀螺仪发展的重点方向之一.简要回顾了核磁共振陀螺的发展历史,介绍了20世纪有代表性的研究成果.叙述了...
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76. 磁致伸缩振动能量采集器的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 磁致伸缩振动能量采集器作为一种新形式的能量采集器,具有高机电转化效率、高鲁棒性和低输出阻抗等特性.阐述了磁致伸缩式振动能量采集器的基本工作原理,按照其基本结构和工作方式将其归纳为直驱式和悬臂...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 对加热长度为4.5 mm、水力直径为130 μm的微通道芯片中纳米流体的换热情况进行了实验研究,比较了纯水和不同质量分数纳米流体在微通道中的换热性能,分析了热边界层发展对纳米流体换热性能的影...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 利用静电纺丝法制备了氧化钨(WO3)纳米纤维.使用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对样品的物相结构和微观形貌进行表征.分析结果表明:制备的WO3纳米纤维由众多纳米颗粒组装而成...
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79. 基于梳齿式电容加速度计的深硅刻蚀刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 梳齿式电容加速度计对梳齿的形貌有很高的要求,如需要梳齿侧壁具有良好的垂直度和粗糙度等.利用深硅刻蚀机对梳齿结构进行加工需要对刻蚀参数进行分析和调整.以SF6和C4F8为刻蚀气体,设定深硅刻蚀...
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80. CMP中TEOS去除速率的一致性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 针对300mm正硅酸乙酯(TEOS)镀膜片在化学机械平坦化(CMP)过程中中心去除速率快而边缘去除速率慢的问题,研究了抛光头摆动位置、抛光头不同区域压力和非离子型表面活性剂对TEOS去除速率...
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81. 高深宽比石英结构的NLD刻蚀刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年9期页码:摘要： 基于磁中性环路放电(NLD)等离子体刻蚀机的原理,研究了Ar和C4F8混合气体氛围下,射频(RF)天线功率、偏置电源功率、气压和C4F8体积流量等工艺参数对NLD刻蚀石英的影响,最终获取优化...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 介绍了一种基于天线优化的GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的高灵敏度室温太赫兹探测器.在太赫兹波辐射下,太赫兹天线可以高效收集太赫兹波的能量进而提高探测器的性能指标.利用有限时...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 石墨烯的电化学性能,特别是基于石墨烯的电子转移动力学,是石墨烯在电化学传感器、能源存储与转化等方面应用的基础.阐述了石墨烯的电子转移动力学的研究进展.特别是详细描述了石墨烯边缘、基平面以及缺...
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84. 范德瓦尔斯异质结的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 范德瓦尔斯异质结是二维材料以特定顺序堆叠所形成的人工材料,其具有优异的光电特性.主要介绍了石墨烯、硫化钼、硒化钼等不同的二维材料构成的范德瓦尔斯异质结的制备方法和注意事项,以及范德瓦尔斯异质...
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85. 声表面波驱动的微混合器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 基于声表面波(SAW)驱动机理设计并仿真了一种微混合器,制备了由4个谐振频率为49.1 MHz的铜叉指式换能器(IDT)构成的SAW驱动的微混合器(IDT采用剥离工艺制备,使用的基片材料为1...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 针对目前纤毛式MEMS矢量水听器灵敏度和带宽的相互制约,无法实现在高灵敏度的情况下还能有较大的可测带宽.基于此,设计了一种单梁结构的一维MEMS矢量水听器,经理论分析和ANSYS仿真分析,确...
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87. 电容式柔性触觉传感器的研究与进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 通过分析电容式触觉传感器的基本工作原理与研究热点,指出了电容式触觉传感器在结构设计中存在着难以兼顾分辨率、测量精度和灵活性的关键问题.参照电容式触觉传感器内的微电容结构,从微电容的电极层、介...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 根据介电电泳原理,设计了一种梯形叉指的微电板结构,用于粒子的连续分离.首先利用COMSOL软件分析梯形叉指电极的电场分布,确定芯片中电场强度最大值和最小值的位置,并分析粒子在微流控芯片中的受...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 在衬底温度为400℃、射频功率为20 W的条件下,通过改变SiH4和NH3的体积流量比、电极(圆环和平板电极)和匀气盘结构,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备出不同成分的氮化硅...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2017年10期页码:摘要： 利用静电纺丝法在轴向磁场辅助下成功制备了含有Fe3O4颗粒的聚乙烯醇(PVA)磁性纳米纤维,纤维直径为250～715 nm.通过引入轴向磁场,显著降低了制备磁性纳米纤维所需的电压值,从而大幅...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
微纳电子技术统计分析
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