微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  1-5
    摘要: 综述了纳电子学和神经形态芯片进入新世纪后所处发展阶段以及近两年的最新进展.在纳电子领域,综述并分析了当今集成电路的发展现状,包括鳍式场效应晶体管(FinFET)的发展、10 nm节点的技术突...
  • 作者: 余宸 吕洪君 张永强 解光军 邓凤斌
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  6-12
    摘要: 由于互补金属氧化物半导体(CMOS)器件尺寸的限制,量子元胞自动机(QCA)成为有望替代CMOS的新兴纳米器件.量子元胞自动机具有超低功耗、超高速度和高密度结构的潜在优势.提出了一种新型的同...
  • 作者: 杨修文 王明秋
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  13-17
    摘要: 采用旋涂法、提拉法、水热法、涂覆法制备了TiO2薄膜,利用紫葡萄皮染料分子敏化了TiO2薄膜电极,制备出太阳电池.测试结果表明涂覆法制备的太阳电池的效率最好,初始短路电流密度、开路电压分别为...
  • 作者: 张晓辉 王强
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  18-25,44
    摘要: 介绍了典型的电子封装用复合材料,着重介绍了不同类型的金属基复合材料(MMC);综述了以铝碳化硅(SiC/Al)和Si/Al为代表的金属基复合材料的国内外研究现状和进展,阐述了SiC/Al复合...
  • 作者: 张斌珍 杨潞霞 段俊萍
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  26-31
    摘要: 为了提高微流式细胞仪对低浓度细胞样本液的检测效率和准确率,提出一种以电磁驱动的微过滤系统设计方案.该微过滤系统包括具有过滤结构的微流控芯片(微过滤芯片)和电磁驱动机构,借助电磁控制来实现微过...
  • 作者: 丑修建 何剑 徐方良 杨玉华 石树正 穆继亮 高翔
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  32-37,62
    摘要: 设计了一种四螺旋悬臂梁-质量块结构的压电能量采集器,将环境振动能转换为电能.采用有限元分析软件(COMSOL Multiphysics)建立结构模型,仿真结构固有频率,计算不同振动频率下器件...
  • 作者: 吝海锋 徐淑静 李博 杨拥军 王宁
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  38-44
    摘要: 为了减小正交误差对硅MEMS陀螺仪性能的影响,进一步提高陀螺精度争工程化成品率,对MEMS陀螺正交耦合的影响因素进行了研究.通过MEMS陀螺的运动学简化模型,分析了正交耦合的起因;计算了ME...
  • 作者: 张少文 林朝东 王生毅 王芳 高健
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  45-50
    摘要: 弱磁探测在材料科学、基础物理和磁强计等众多领域都具有重要的研究意义.由于金刚石氮空位(NV)色心的弱磁探测兼具高灵敏度与高空间分辨的优点,因此时利用Ⅰb型金刚石NV色心系综进行磁检测的技术进...
  • 作者: 赵宇龙 顾修全
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  51-56
    摘要: 采用简单的水热路线合成出TiO2纳米棒阵列,作为染料敏化太阳电池(DSSC)光阳极,并对其形貌、结构和光电特性进行表征.探讨了前驱体溶液总量、Ti源加入量等对产物形貌以及DSSC性能的影响....
  • 作者: 刘玉岭 季军 张文倩 杜义琛 牛新环 王辰伟 韩丽楠
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  57-62
    摘要: 利用不合氧化剂的碱性抛光液对铜和钴进行化学机械抛光,深入分析了抛光液组分包括硅溶胶磨料、FA/O螯合剂以及非离子表面活性剂对两种金属去除速率的影响规律及作用机理.实验结果表明,铜和钴的去除速...
  • 作者: 孟军华 杨晓丽
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  63-68
    摘要: 采用化学气相沉积(CVD)法,以铜箔为衬底,以甲烷为碳源,制备了石墨烯薄膜和单晶畴,并利用扫描电子显微镜、光学显微镜、喇曼光谱仪、紫外-可见透过光谱仪等手段对石墨烯进行了系统表征.结果表明,...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年1期
    页码:  69
    摘要:
  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  73-83,90
    摘要:
  • 作者: 冯朝文 崔焕卿 徐立 杨晓阔 王森 蔡理
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  84-90
    摘要: 建立了应变调制型磁性隧道结(MTJ)器件的HSpice电路仿真模型,分析了该器件的转换特性.基于所建立的模型并结合BSIM4 90 nm CMOS模型,设计了一种非易失性自动置位逻辑门电路....
  • 作者: 刘伟 张婷 张捷 王东红 马通边
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  91-97,129
    摘要: 阐述了导电聚合物与其他材料复合制备吸波材料的科学性和必要性,总结了近年来导电聚合物在电磁防护材料领域的研究进展.重点概述了二元、多元及多层结构的导电聚合物基复合吸波材料,并对这三类材料的制备...
  • 作者: 张云光 徐建刚 李桂霞 王雯玉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  98-104,115
    摘要: 采用基于密度泛函理论(DFT)的第一性原理方法,在广义梯度近似下,对本征单壁锯齿型(6,0)碳化硅纳米管、P或Al掺杂碳化硅纳米管的电子结构和光学性质进行了优化计算.计算结果表明:单壁锯齿型...
  • 作者: 张斌珍 段俊萍 白琼 肖红
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  105-109,134
    摘要: 设计了一款W波段矩形波导带通滤波器.滤波器为一个四腔折叠型交叉耦合结构,能够产生两个传输零点和四个反射极点.其中直接耦合是通过电感膜片实现的磁耦合,而交叉耦合是通过一段消失模波导实现的磁耦合...
  • 作者: 刘欣 杨勇 熊继军 闫丹 陈晓勇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  110-115
    摘要: 针对温度参数的测试需求,选择印刷电路板(PCB)材料作为传感器的基板,利用其介电性能设计了一种基于微波的无线无源温度传感器,其谐振频率为2.4 GHz.传感器集成了贴片天线用以无线传输温度信...
  • 作者: 吴菲 孙东 曾一笑 樊磊 谭秋林
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  116-121
    摘要: 根据介电泳的工作原理,利用粒子介电性质的不同设计了基于双层微电极结构的芯片模型,实现了介电性质不同的粒子的断续分离.采用COMSOL软件仿真并分析了芯片内部的电场强度和介电泳力的分布;对比二...
  • 作者: 付月 岳馨瑶 徐少辉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  122-129
    摘要: 利用MEMS技术制备了硅微通道板(Si-MCP)并以此作为基底制备宏孔导电网络(MECN),利用3种方式在其外表面和孔道内壁沉积钯纳米粒子合成了三维乙醇催化电极.通过X射线衍射(XRD)和扫...
  • 作者: 刘宜霖 檀柏梅 胡新星 路一泽 高宝红
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  130-134
    摘要: 采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法,通过改变衬底温度制备硼掺杂金刚石薄膜.利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)表征薄膜的表面形貌、结晶质量和晶粒大小.结果表明:衬...
  • 作者: 刘玉岭 张文倩 李洪波 李红亮 王辰伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  135-142
    摘要: 研究了pH值对石英玻璃抛光性能的影响,采用动态光散射及Zeta电位对化学机械抛光(CMP)使用的硅溶胶进行分析表征,采用原子力显微镜(AFM)对抛光后石英玻璃表面形貌进行了分析.对pH值作用...
  • 作者: 黄科
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年2期
    页码:  143-147
    摘要: 设计了一种三维和二维交替(3D/2D)生长模式,并使用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石衬底上通过3D/2D交替生长模式制备了AlN外延材料.高分辨X射线衍射仪测试结果表明,相较...
  • 作者: 吕苗 崔晓彬 王加钦 王暾 赵东世
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  149-153,160
    摘要: 阵列波导光栅(AWG)在密集波分复用(DWDM)光通信和芯片光谱仪中有广泛的应用.提出了一种可与光纤耦合的AWG芯片级封装结构,其特点是设计了三片式叠片结构,可实现波导和光纤的三维对准;通过...
  • 作者: 周健宇 李俊浪 桑田 王睿
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  154-160
    摘要: 提出硅基级联光栅石墨烯吸波器设计,该吸波器由波导层光栅和缓冲层光栅上下级联而成,采用小角度入射,利用波导模式耦合形成的非简并波导模共振实现石墨烯条光吸收效率的显著增强.计算表明,2°入射硅波...
  • 作者: 刘奥 柏松 栗锐 薛爱杰 黄润华
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  161-165,177
    摘要: 基于有限元仿真的方法对6 500 V 15 A 4H-SiC肖特基二极管开展了材料结构、有源区结型势垒肖特基(JBS)结构和终端保护结构的优化设计.基于4英寸(1英寸=2.54 cm)n型4...
  • 作者: 何剑 温涛 田竹梅 翟聪 薛晨阳 陈曦
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  166-171,188
    摘要: 将具有高介电常数的钛酸钡(BaTiO3)纳米颗粒填充于室温硫化硅胶中,制备出复合纳米聚合物薄膜.采用复合纳米聚合物薄膜作为摩擦负性材料,聚酯纤维镀银导电布作为摩擦正性材料及电极材料,设计了接...
  • 作者: 刘俊 唐军 王磊 郭浩
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  172-177
    摘要: 报道了一种基于永磁体磁梯度场超高分辨检测机理的加速度传感方法.实验中,通过在聚二甲基硅氧烷(PDMS)柔性薄膜材料中心上表面嵌入永磁体,固定PDMS薄膜周边,悬空永磁体结构,制备了悬臂梁式永...
  • 作者: 刘俊 寇志伟 张英杰 曹慧亮 石云波
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  178-182
    摘要: 根据固体波动陀螺的工作机理与振动特性,提出并制作了一种新颖的电容式全对称硅基MEMS环形波动陀螺谐振结构.设计了全对称双U形弹性梁环形敏感结构并进行了动力学分析.分析结果表明其工作模态的谐振...
  • 作者: 冯春鹏 刘园园 刘扬 谭晓兰
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2018年3期
    页码:  183-188
    摘要: 制作了一种BiFeO3纳米纤维压力传感器和测试装置,用测试装置对压力传感器进行测试,并对测试数据进行分析.采用BiFeO3纳米纤维作为敏感材料,利用微电子机械系统(MEMS)加工工艺制备出带...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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