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微细加工技术2006年第6期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力.然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展.因此,对微电铸工艺进...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 根据中国科学院电工研究所研制的DY-2000型实用化电子束曝光系统对曝光图形数据格式的要求及用户的需要,对原曝光文件格式(EDF)进行了改进,利用VC+ +6.0开发环境实现了EDF格式文件...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 穿透深度预测是电子束液态曝光技术中的一个重要课题.采用对比分析的方法对Monte Carlo模拟和Grun公式在预测液体抗蚀剂穿透深度中的适用性进行了研究,得出了可以使用这两种方法对高能电子...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 为了解决衍射光栅的表面精度,提高衍射效率,分析了衍射光栅刻划中金刚石刻划刀的定向与耐用度的关系,围绕光栅刻划刀磨制过程中如何解决振动这一关键问题,从工艺方面进行了探讨.通过确立金刚石刻划刀的...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机掩膜台宏动平台的控制问题,采用直线电机设计了高速、高精密步进扫描光刻机的掩模台模拟宏动定位系统,并建立了整个直线运动平台的数学模型.根据该...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 设计了一种基于双压电薄膜驱动的微喷芯片,该芯片中每个流体单元结构主要是由进样室、微管道、喷口以及集成了PZT驱动器的主副贮液室组成,其中主驱动器提供喷射液体的驱动力,副驱动器抑制液体回流;采...
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8. F-DLC疏水性能的研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法沉积氟化类金刚石(F-DLC)薄膜.俄歇电子能谱分析表明,制备的碳膜为典型的类金刚石结构.接触角测量仪测量了沉积在玻璃基底上的F-DLC薄...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 研究在硅基表面形成1,1,2,2 H过氟癸基三氯硅烷防粘自组装膜的方法和特性.成功地在硅基表面形成了防粘连自组装薄膜,从浸润角、表面能、薄膜成分和表面粗糙度几个角度对该薄膜进行了分析,证实薄...
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10. 短讯刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要：
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11. 陶瓷微结构的制作研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 研究了一种制作高精度、大高宽比高铝陶瓷微器件的工艺方法.首先利用同步辐射曝光,制作出带有微结构的PMMA模具.模压后,溶去模具,在1 700 ℃烧结成型.利用这种工艺,获得了宽度23 μm,...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 简单介绍了ICP(inductively coupled plasma)中的两种刻蚀工艺,阐述了以MEMS加工技术制备柔性仿壁虎刚毛阵列的方法,即利用ICP设备,采用低温(CRYO)工艺,在...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 介绍了一种用软光刻技术制作微流芯片上PDMS微混合器的工艺.首先用SU-8胶制作微模具,然后用复制压模法制作出PDMS微通道,最后用紫外光表面改性实现PDMS材料和玻璃基片的键合.阐述了微混...
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14. 满足自锐效应的AFM探针针尖加工刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 根据各向异性湿法刻蚀针尖的自锐效应模型和晶面交点模型, 设计了AFM探针针尖加工工艺流程,并进行了针尖加工实验.通过分析实验结果并结合晶面交点模型,分别得到了针尖形状与蚀液浓度、刻蚀液温度、...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 以非制冷红外焦平面阵列和热剪切应力传感器为代表,分析了这两种典型的薄膜悬浮结构和带空腔结构的MEMS器件在进行二氧化硅牺牲层的腐蚀和最终结构释放过程中的各种问题.根据二氧化硅的腐蚀机理,指导...
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16. 应用于扩散工艺中的闭管扩散技术刊名： 微细加工技术发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导...
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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