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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 含US-SSY分子筛的Ni-W-γ-Al2O3体系的EXAFS研究
    作者： 华中一 巨新 张健 徐卫 李全芝 胡天斗 谢亚宁 韩继红 顾昌鑫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  1-6
    摘要： 运用EXAFS技术分别对含有自冷和急冷US-SSY分子筛的Ni-W-γ-Al2O3样品中的W的LⅢ吸收边和Ni的K吸收边进行了结构分析.结果表明分子筛超稳化后的冷却速率对样品中原子的局域结构...
  • 2. 纳米颗粒薄膜的真空喷射沉积研究
    作者： 刘定权 李强勇 赵忠 黄良甫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  7-14
    摘要： 利用真空喷射沉积技术制备了Zn纳米颗粒薄膜,研究了工艺参数对薄膜形貌及晶体结构的影响规律,给出了颗粒尺度和外形随Ar气流量、蒸发源温度、喷嘴尺寸形状和沉积时间的变化规律,并对其机理进行了分析...
  • 3. 并接型双辉光放电中的双辉交链增强现象
    作者： 余萍 尚振魁 徐重 李家全 李成明 耿漫 袁斌 贺志勇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  15-21
    摘要： 介绍了发生在双辉光离子渗金属技术中的双辉光交链增强型放电现象,分别采用交链等效电路法和微变等效电路法,对这种双辉光交链增强型放电现象进行了描述.
  • 4. Ti1-xAlxN薄膜的制备及性能研究
    作者： 徐瑛 李佐宜 杨晓非 林更琪 熊锐 胡作启 胡用时
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  22-25
    摘要： 介绍了利用反应溅射法制备Ti1-xAlxN薄膜的工艺过程,测量并分析了Ti1-xAlxN薄膜的光学性能及电阻率与薄膜成分的关系.结果表明,Ti1-xAlxN薄膜的折射率和消光系数均随薄膜中A...
  • 5. Au-Si-Be液态金属离子源发展综述
    作者： 应根裕 康文运 汪健如
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  26-32
    摘要： 对Au-Si-Be液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍,包括源的结构、发射特性,以及不同的合金配比、源工作温度、环境气体、系统真空度对源发射稳定性的影响.
  • 6. 双层减反射膜镀制半导体光放大器
    作者： 卢玉村 吕鸿昌 罗斌 陈建国
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  33-37
    摘要： 首次采用ZnSe和MgF2双层减反射膜镀制半导体光放大器,分别测出了两端面的剩余反射比曲线.结果表明,该放大器两端面反射比乘积最小值低于1×10-6,按照O′Mahoney给出的判据,其可用...
  • 7. 电子光学系统最优化设计中的非线性规划:应用与比较
    作者： 单莉英 江焕新 顾昌鑫
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  38-44
    摘要： 以电子光学系统中发射系统为实例,从收敛速度、搜索效果、整体收敛性等几个方面,系统地对非线性规划的五种搜索方法在电子光学系统设计中的应用进行分析和比较,得出了一些有价值的结果.计算表明Rose...
  • 8. 光束线真空保护联锁与控制系统研制
    作者： 刘益敏 姚传荣 徐锡林
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  45-49
    摘要： 介绍了光束线前端区装置的组成及光束线真空保护联锁与控制要点.根据光束线真空保护联锁与控制的要求,本实验室研制了真空传感器、快速关闭阀及快阀控制器等真空保护联锁与控制系统所需的关键部件,进一步...
  • 9. Ti-AlN界面组分分布的二次离子质谱研究
    作者： 岳瑞峰 徐传骧 王佑祥 陈春华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  50-57
    摘要： 采用电子束蒸发方法在200℃的抛光AlN陶瓷衬底上淀积厚度为200nm的Ti膜,并在高真空中退火.利用二次离子质谱(SIMS)对样品进行了深度剖析,给出了Ti/AlN界面组分分布随退火温度和...
  • 10. 类金刚石膜中应力释放花样形貌分析
    作者： 乔学亮 吴一平 程宇航 谢长生 陈建国
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  58-62
    摘要： 用Raman谱研究了射频-直流等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜结构,用弯曲法研究了类金刚石膜的应力,用光学显微镜对类金刚石膜中由于压应力的释放所形成的花样形貌进行了观察.类金刚石膜中存...
  • 11. 银氧化膜的分形研究
    作者： 侯士敏 刘惟敏 吴全德
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  63-66
    摘要： 在银氧铯光电阴极的制备过程中,初始两步是蒸积银膜和辉光放电氧化.报道了氧化银膜的电子显微镜观察结果的实例,它显示出纹理结构和分形特性.利用计算机对照片进行了分形维数D的计算,得出D=1.80...
  • 12. 800MeV储存环超高真空系统数据计算机监测系统
    作者： 杨健 王勇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  67-71
    摘要： 介绍了国家同步辐射实验室800MeV储存环真空数据计算机监测系统,并对其硬件结构和软件部分作了简述.该系统自开始使用至今已5年多,运行情况良好.记录了真空系统的大量真空数据,为电子储存环机器...
  • 13. 微波ECR-PCVD技术制备Si3 N4薄膜的研究与应用
    作者： 任兆杏 程绍玉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  72-75
    摘要： 受电子器件芯片铝电极耐温性能的限制和钝化膜沉积工艺中高能粒子对芯片辐射损伤等因素的影响,一般的沉积方法难以用到要求较高的浅结器件的钝化工艺中.微波ECR-PCVD技术没有高能粒子对芯片的辐射...
  • 14. 纳米MgO微晶的热分析特性和晶格畸变
    作者： 叶锡生 张立德 彭子飞 沙健 焦正宽
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  76-79
    摘要： 对纳米MgO微晶的系列样品进行了差热分析(DTA)测量和X射线衍射(XRD)实验研究.结合所获得的晶粒度和XRD微结构参数,发现纳米晶MgO的晶粒组元中存在着晶格畸变;随着温度的升高,纳米M...
  • 15. 西洋参真空冷冻干燥工艺的研究
    作者： 周永安
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  80-82
    摘要： 主要介绍西洋参采用真空冷冻干燥工艺处理的先进方法,获取的制品优于传统的加工方法,保持了西洋参的特性与风味,有利于分切与制剂,便于食用,为西洋参的开发与保鲜创造了条件.
  • 16. 《真空科学与技术》学报征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  封三
    摘要：
  • 17. ′98国际二次离子质谱学研讨会(′98 ISSIMS)暨第二届中国二次离子质谱学会议(SIMSⅡ,China) 征文通知
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 1998年1期
    页码:  封底
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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