类金刚石膜中应力释放花样形貌分析

• 作者: 乔学亮 吴一平 程宇航 谢长生 陈建国
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石 薄膜 内应力 起皱花样
• 年，卷（期）: 1998,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 58-62
• 页数: 5页
• 分类号: TB7
• 字数: 2961字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.01.010

摘要

用Raman谱研究了射频-直流等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜结构,用弯曲法研究了类金刚石膜的应力,用光学显微镜对类金刚石膜中由于压应力的释放所形成的花样形貌进行了观察.类金刚石膜中存在1～4.7 GPa的压应力.由于应力释放,在膜-基界面处观察到正弦曲线状、分枝状、直线状和花状花样外,还观察到时钟状和水泡状两种新型应力释放花样,用薄板起皱理论可以很好地解释这两种新花样.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴一平	华中理工大学材料系	6	29	2.0	5.0
2	谢长生	华中理工大学材料系	16	328	7.0	16.0
3	程宇航	华中理工大学材料系	7	30	2.0	5.0
4	陈建国	华中理工大学材料系	5	24	2.0	4.0
5	乔学亮	华中理工大学材料系	5	24	2.0	4.0