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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 1. 硅基外延La-Sr-Co-O/Pb-Zr-Ti-O/La-Sr-Co-O异质结的制备
    作者： 乔晓东 刘保亭 孙宏丽 张未涛 李锋 程春生 赵庆勋 闫正
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  81-83,122
    摘要： 在外延SrTiO3(STO)作为缓冲层的Si基片上,应用溶胶-凝胶法(sol-gel)和磁控溅射法,在550 ℃温度下制备了外延的La0.5Sr0.5CoO3/Pb(Zr0.2Ti0.8)O...
  • 2. 直流反应磁控溅射制备氧化铅薄膜
    作者： 季振国 胡彬彬 袁苑 霍丽娟 黄伟霞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  84-87
    摘要： 通过直流反应磁控溅射的方法制备了氧化铅薄膜,并通过XRD和紫外-可见光(UV-Vis)吸收谱对薄膜的晶体结构和光学性能进行了表征.我们发现,直流反应磁控溅射金属铅靶可以形成三种氧化铅薄膜,即...
  • 3. 薄膜热扩散系数的在线测试研究
    作者： 许高斌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  88-92,97
    摘要： 提出了一种在线提取多晶硅薄膜热扩散系数的简单测量方法,测试结构可随表面器件工艺加工制作,无需附加工艺.通过分析两个长度不同、宽度与厚度相同梁的瞬态冷却特性,获取其冷却时的温度衰减时间常数,便...
  • 4. 银离子注入热解碳的抗菌性研究
    作者： 刘桐 唐慧琴 赵杰 郑津辉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  93-97
    摘要： 本文用革兰氏阳性菌-金黄色葡萄球菌和革兰氏阴性菌-大肠杆菌研究了注银医用热解碳的抗菌性.注入银离子的能量为70 keV,剂量分别为5×1014、1×1015、5×1015、1×1016、5×...
  • 5. STM脉冲电压极性对材料微细加工影响的研究
    作者： 严学俭 华中一 张莉 曾志刚 朱国栋 沈淼 邱伟民
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  98-101
    摘要： 利用扫描隧道显微镜(STM)可对不同材料表面进行纳米级微细加工.在选取高定向裂解石墨(HOPG)和有机电双稳材料Ag-TCNQ分别进行直接刻蚀和电学改性的研究中,发现STM脉冲电压极性对实验...
  • 6. 射频磁控溅射制备(Pb,La)TiO3薄膜的结晶性能与铁电畴初步研究
    作者： 刘洪 吴家刚 朱基亮 朱建国 肖定全 蒲朝晖
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  102-105
    摘要： 采用射频磁控溅射技术在Pt/Ti/SiO2/Si衬底制备了(Pb,La)TiO3(简记为PLT)铁电薄膜.利用XRD对PLT薄膜的结晶性能进行了研究.实验结果表明,在一定的制备工艺条件下,可...
  • 7. ZnMgS多晶薄膜的结构和光学性质
    作者： 孙汪典 朱汉明 苗银萍
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  106-109,162
    摘要： 本文介绍了对真空蒸发制备的多组ZnxMg1-xS多晶薄膜的研究,用X射线能量色散谱仪(EDS)测定几组ZnxMg1-xS薄膜样品的成分后,由原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)测试结...
  • 8. 反应磁控溅射制备超亲水性SiO2/TiO2多层膜的研究
    作者： 曹歆 杨辅军 汪汉斌 王君安 王浩 薛双喜 高云 黄忠兵
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  110-113
    摘要： 本文采用反应磁控溅射的方法在玻璃基片上制备TiO2及SiO2/TiO2多层膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、接触角测定等分析方法对试样进行表征.研究了不同制备工艺对薄膜亲...
  • 9. 辉光放电离子渗金属的等离子体发射光谱诊断
    作者： 付亚波 张广秋 张跃飞 王建忠 隗晓云 高原
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  114-117
    摘要： 利用发射光谱法对离子渗金属中辉光等离子体的电子温度进行了诊断.实验以氮气为工作气体,通过对放电时氮离子两条特征谱线强度的相对标定,测量了电子温度随放电气压40 Pa～80 Pa和电压500 ...
  • 10. 行波管阴极组件动态热耗散分析及优化设计
    作者： 何小琦 孙小菡 宋芳芳 张国兴
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  118-122
    摘要： 阴极作为行波管的"心脏",其内部结构的热耗散是影响行波管预热时间的关键问题,热传导和热辐射是引起阴极组件内部热耗散的最重要因素.建立了阴极组件热状态有限元分析方程,利用有限元ANSYS软件对...
  • 11. 利用Ba0.65Sr0.35RuO3缓冲层制备高热释电系数的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜
    作者： 刘兴钊 吴传贵 张万里 李言荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  123-126,149
    摘要： 采用射频(RF)溅射,在Ba0.65Sr0.35TiO3(BST)薄膜和Pt/Ti/SiO2/Si衬底之间,制备10 nm厚的Ba0.65Sr0.35RuO3(BSR)缓冲层,研究了BSR缓...
  • 12. 射频磁控溅射ZnO多晶薄膜的制备及其荧光光谱
    作者： 任思雨 刘彭义 孙汪典
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  127-129
    摘要： 用射频磁控溅射方法在未进行人为加热的石英玻璃衬底上,生长了良好c轴择优取向的ZnO多晶薄膜.研究了该ZnO薄膜的晶粒大小与其荧光光谱的关系,发现369 nm的本征峰和406 nm的缺陷峰随着...
  • 13. 滑阀式真空泵排气系统抗性消声结构的研究
    作者： 李志远 鲍俊瑶
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  130-132
    摘要： 滑阀式真空泵排气系统的气流通道截面具有多次突变的特点,利用这个特点可以进行抗性消声设计.理论和试验都表明,合理地设计滑阀式真空泵排气系统扩张比、扩张室长度以及适当地利用插入管,可以有效的降低...
  • 14. 用IBAD方法合成ZrN/W纳米多层膜
    作者： 刘谦祥 张晶晶 李德军 杨瑾 王明霞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  133-136,154
    摘要： 本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD)在室温下制备具有纳米尺寸的ZrN/W多层膜,通过改变双靶的沉积时间,合成一系列的具有不同调制周期(3 nm～10 nm)的纳米多层膜.利用AES,...
  • 15. 非平衡磁控溅射法Ti/TiO2薄膜的制备及分析
    作者： 张守忠 杜建 杨武保 翁永基 董琪 赵震
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  137-141
    摘要： 在光学玻璃衬底上利用新型非平衡磁控溅射技术沉积了Ti/TiO2薄膜.原子力显微镜分析表明,薄膜表面光滑、致密、均匀,表面粗糙度(Ra)小于10 nm,组成薄膜的颗粒尺寸小于100 nm.膜厚...
  • 16. 射频磁控溅射(Ti,Al)N薄膜性能的研究
    作者： 乔利杰 何欣 杨会生 杨建军 熊小涛 王燕斌 瞿春燕
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  142-146
    摘要： 采用射频磁控溅射,用Al靶和Ti靶同时溅射沉积(Ti,Al)N薄膜.研究表明:不同Al靶功率沉积的薄膜中始终存在面心立方结构(B1型),当Al靶功率大于250 W薄膜中面心立方结构(B1型)...
  • 17. 使用纳米材料添加剂的新型钡钨阴极的发射性能研究
    作者： 吴华夏 张红卫 贺兆昌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  147-149
    摘要： 根据纳米材料特有的性质,主要研究了使用纳米材料添加剂Al2O3、NiO阴极的发射性能,结果表明使用纳米材料添加剂NiO的阴级在较低的烧结温度时,有较好的发射性能.而添加wt25Ir+nano...
  • 18. 低价硫化物法直接提取铝的热力学研究
    作者： 戴永年 李秋霞 郑东邦 陈为亮
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  150-154
    摘要： 本文利用铝的低价硫化物(AlS)在高温下存在,低温下不稳定容易分解得到金属铝的特性,从热力学角度引入"物质吉布斯自由能函数法"讨论在不同压力下,氧化铝、硫化亚铁与还原剂碳的反应生成低价硫化物...
  • 19. FBAR用AlN薄膜的射频反应溅射制备研究
    作者： 王德苗 董树荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  155-158
    摘要： 采用射频反应磁控溅射法,制备了用于薄膜体声波谐振器的(002)取向的氮化铝薄膜.氮化铝薄膜为(002)取向为主混合少量(103)取向.氮化铝薄膜生长模式表面二维均匀成核再沿C轴堆垛生长.基片...
  • 20. 不同氧氩比例对氧化铪(HfO2)薄膜的结构及性能的影响
    作者： 何智兵 吴卫东 唐永建 张继成 许华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  159-162
    摘要： 在不同氧氩比例气氛下,采用直流磁控反应溅射方法制备了HfO2薄膜.利用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)和紫外可见光谱(UV-Visible spect...
  • 21. 信息
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年2期
    页码:  插3,113
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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