真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 张鹰 朱俊 李言荣 经晶 罗文博
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  144-148
    摘要: 采用脉冲激光沉积方法,通过金红石相TiO_2(200)纳米诱导层在蓝宝石衬底上生长了(200)取向的萤石相钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜.通过反射式高能电子衍射对薄膜生长过程进行原位监测;用XR...
  • 作者: 于贺 吴志明 王涛 董翔 蒋亚东 陈超 靖红军
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  149-153
    摘要: 研究了公-自转磁控溅射镀膜系统的机理.通过物理建模,使用交点采集和时间步长划分两种模型,分别计算模拟了矩形靶沉积时间的三维分布图,并讨论自转与公转转速比对沉积时间均匀性的影响.模拟结果表明:...
  • 作者: 刘德龙 屠彦 张雄 李青 杨兰兰 王保平
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  154-159
    摘要: 采用基于粒子-蒙特卡罗模型的OOPIC-PRO软件对荫罩式等离子体显示板(PDP)的放电进行模拟,研究扫描电极宽度、氖氙混合气体比例、气压等参数变化对主放电区域及条纹分布的影响,并与高速IC...
  • 作者: 方志 杨浩 解向前
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  160-166
    摘要: 用中等气压空气中均匀介质阻挡放电(DBD)产生的低温等离子体对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚碳酸酯(PC)两种聚合物薄膜进行表面改性,研究了DBD等离子体处理对两种材料表面亲水性的影响.通...
  • 作者: 唐正霞 张娟 沈鸿烈 郭艳 鲁林峰
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  167-170
    摘要: 采用磁控溅射仪在高阻Si(100)衬底上沉积了[Fe(0.5nm)/Si(1.6nm)]_(120)和[Fe(1nm)/Si(3.2nm)]_(60)多层膜,并在Ar气气氛下进行了1000℃...
  • 作者: 吴臣国 杨锡良 沈杰 王三坡 章壮健
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  171-175
    摘要: 采用直流磁控反应溅射制备了掺钼氧化锌透明导电薄膜.研究了掺钼氧化锌薄膜的结构、表面形貌及其光学和电学性能.原子力显微镜扫描显示薄膜表面较为平整致密.制备出的掺钼氧化锌薄膜最低电阻率为9.4×...
  • 作者: 于波 张波 董显平
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  176-180
    摘要: 利用掺锡氧化铟(ITO)靶和Ta_2O_5靶双靶共溅法制备了氧化铟锡钽(ITTO)薄膜,研究了在不同衬底温度和退火温度下ITTO薄膜的微结构和光电性能.ITTO薄膜具有更好的晶化程度和较低的...
  • 作者: 娄树普 孙宝玉 巴德纯 房也 王旭
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  181-184
    摘要: 采用Nd-Pr合金、工业硼铁、纯铁及海绵锆为原料,在不同的冷却速度下采用FMI-I-600型真空速凝炉制备Re(Nd,Pr)FeB永磁合金铸带,分析了速凝薄带的厚度分布,采用扫描电子显微镜及...
  • 作者: 刘柯钊 向鑫 彭丽霞 陈长安 饶咏初
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  185-188
    摘要: 用氦热解吸谱(THDS)研究了10keV,4.0×10(60)cm~(-2)剂量He~+辐照(200)择优取向Al的氦热解吸行为及其与升温速率的关系.结果显示,He解吸开始于270℃附近,T...
  • 作者: 付钢 付鹏飞 毛智勇 王亚军
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  189-192
    摘要: 为了充分发挥电子束焊接技术在航空航天领域的作用,对反映束流品质的关键因素-电子束能量密度开展了研究;基于法拉第传感原理,通过DIABEAM测试法对真空电子束焊机电子束能量密度分布进行测试分析...
  • 作者: 杨长春 武松涛 潘皖江
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  193-197
    摘要: 讨论了玻璃钢复合材料无磁杜瓦的真空性能.提出了采用三层模式壳体结构、加热、充CO_2置换气体、放置活性炭等提高和保持杜瓦夹层真空度、减少抽空时间的方法.同时简述了影响夹层真空度测量的相关因素...
  • 作者: 戴永年 李秋霞 杨斌
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  198-200
    摘要: 利用低价铝氟化物歧化反应分解可以得到金属铝的特性,用焦炭作还原剂,在真空条件下,从铝土矿中提取铝进行了实验研究.实验得到:残余压力300Pa以下时可以得到金属铝,温度在1300~1550℃范...
  • 作者: 卓刘成 宗亮 许晓静 郝欣妮 陈丹
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  201-204
    摘要: 采用室温磁控溅射技术在纳米晶体钛表面制备出CN_x/SiC双层薄膜,SiC为中间层.研究了CN_x薄膜的纳米压痕行为和摩擦磨损性能.试验结果表明:CN_x薄膜的纳米硬度、杨氏弹性模量、硬度与...
  • 作者: 任兵 冯刘 刘晖 成伟 石峰 程宏昌 陈高善
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  205-210
    摘要: 借助于扫描电镜和能量分散X-ray能谱分析方法,对发生在超高真空(UHV)系统内,负电子亲和势 GaAs光阴极表面上的金属微颗粒污染物进行了分析研究.给出了存在于表面上微颗粒污染物的性质、类...
  • 作者: 冯红亮 卢景霄 宁皓 张增院 林清耿 粱艳 郜小勇 马姣民
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  211-214
    摘要: 保持150℃的衬底温度不变,通过调节氧氩比 (OFR=[O_2]/[Ar]),利用直流反应磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了一系列氧化银薄膜.利用X射线衍射谱、扫描电子显微镜和分光光度计重点研究...
  • 作者: 刘传俊 吉锋 周源 洪鹏云 陶辉
    发表期刊: 2010年2期
    页码:  215-220
    摘要: 透气真空快速泥水分离技术适用于高含水率高粘粒含量疏浚淤泥的堆场处理,可以快速减小堆场中淤泥的体积,加速堆场的周转利用,并能解决常规真空处理方法中存在的滤层淤堵问题.针对此技术,研制了室内模型...
  • 作者: 张广秋 张跃飞 杨丽珍 边心超 陈强
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  221-225
    摘要: 等离子体中电子激发温度是等离子体的一个重要物理参数之一,对材料表面改性具有非常重要的意义.本实验以Ar气为工作气体,利用发射光谱法对双层辉光放电等离子体参数进行在线诊断.依据气体放电中的光谱...
  • 作者: 达道安 陈光奇 陈叔平
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  226-228
    摘要: 为预测空间站两舱压力平衡时间,基于热力学状态方程和流体流导概念建立了由专用阀门连通的两空间舱压力平衡的数学表达式,揭示了两舱压力差与初始条件及时间的关系.表明平衡压力差与气舱容积、初始压差成...
  • 作者: A.Bogaerts 吕晓丹 宁建平 秦尤敏 苟富君
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  229-235
    摘要: 采用分子动力学方法模拟了Ar+与表面含有C,F反应层的Si样品的相互作用过程,以了解Ar+与氟化的Si的作用机制.为了和相对应的实验结果做比较,选择了两种样品,表面富F样品和表面富C样品.模...
  • 作者: 庄大明 张弓 杨宇
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  236-239
    摘要: 采用中频交流磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积Cu-In预制膜,采用固态硫化法制备获得了CuInS2(CIS)吸收层薄膜.考察了硫化时间对于CIS薄膜结构、形貌以及禁带宽度影响.通过XRD分析了...
  • 作者: 刘纯亮 梁志虎 王志国 范琳瑶
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  240-244
    摘要: 为增强交流等离子体显示器(AC PDP)中低灰度级图像的显示效果,提出了一种子场抖动方法.该方法根据AC PDP采用子场方法显示灰度的特点,利用一种新型阈值矩阵对AC PDP中权重较小的两个...
  • 作者: 于新华 方智 牛新建 蒙林
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  245-248
    摘要: 根据耦合波理论,对8 mm波段TE01-TE11模式变换器的几何结构进行了优化分析,得到了最优几何参量.用仿真软件优化设计了同一波段TE11-HE11模式变换器.数值计算和仿真结果表明这两个...
  • 作者: 丁建 朱秉莹 李学超 李长生 莫超超
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  249-253
    摘要: 采用双靶反应磁控溅射的方法,通过改变基体相对于靶材的位置制备了一系列不同化学成分的W1-xTixN薄膜.用X射线衍射仪,扫描电子显微镜,能量散色谱等检测手段对薄膜的表面状态,化学成分以及结构...
  • 作者: 周建新 徐宏 李伟 栾小建 王志远
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  254-258
    摘要: 为了抑制乙烯裂解炉管内表面结焦,在实验室小试的基础上,对SiO2/S涂层进行了中试制备研究.并分析了不同气体流速对涂层形貌和结构的影响,优化了涂层中试制备工艺.采用扫描电子显微镜和Raman...
  • 作者: 冯月斌 徐宝强 戴永年 杨斌 袁海滨 郁青春
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  259-264
    摘要: 碳热过程的热力学分析表明,系统压力为100 Pa时,生成Al4O4C与Al4C3以及Al4O4C与C结合生成Al4C3的初始温度分别为1690,1711,1472 K;碳热-氯化过程的热力学...
  • 作者: 刘悦 周艳文 赵卓
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  265-269
    摘要: 磁场结构在磁控溅射技术中起着重要的作用.本文利用ANSYS软件模拟计算磁场的磁感应强度及其分布,并分析、比较不同方案中的磁场分布变化规律.计算结果与实测值吻合,并且显示随着与靶面距离的增加磁...
  • 作者: 顾文琪 马向国
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  270-272
    摘要: 本文对自主开发研制的一种可用于纳米聚焦离子束系统的液态金属Ga离子源进行了不同温度下发射特性实验,测定了在三种引出电压下不同温度该离子源的I-T特性曲线,同时测定了在三种发射电流下离子源引出...
  • 作者: 左桂忠 张凌 李建刚 罗南昌 胡建生
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  273-278
    摘要: 为了抑制等离子体杂质和减少粒子再循环,获得高品质的等离子体,HT-7超导托卡马克将进行锂限制器实验.为此需要在实验台上开展一些先行试验,以掌握锂材料操作的关键工艺;在加热和直流辉光放电下,借...
  • 作者: 付志伟 夏志林 李展望 洪晓亮 薛亦渝 赵立新 郭培涛
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  279-282
    摘要: 以硫酸、草酸溶液为电解液,采用二次阳极氧化法制备了初始孔径在20~120 nm、孔间距在40~250 nm、孔深在200 nm~80 μm范围内的具有高度有序纳米孔阵列的多孔阳极氧化铝(po...
  • 作者: 刘大春 徐宝强 李学鹏 杨斌 王林
    发表期刊: 2010年3期
    页码:  283-287
    摘要: 本研究利用纯度为99.96%粗Ni为原料,进行真空蒸馏实验,在1773~1973K温度下和保温2.5 h及真空度小于10 Pa的实验条件下进行真空蒸馏.以实验结果为依据计算了产物中各种杂质的...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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