脉冲激光沉积法在蓝宝石衬底上制备a轴取向YSZ薄膜

• 作者: 张鹰 朱俊 李言荣 经晶 罗文博
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: YSZ薄膜 外延生长 脉冲激光沉积 反射式高能电子衍射
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 144-148
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1|O484.2
• 字数: 2982字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.02.09

摘要

采用脉冲激光沉积方法,通过金红石相TiO_2(200)纳米诱导层在蓝宝石衬底上生长了(200)取向的萤石相钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜.通过反射式高能电子衍射对薄膜生长过程进行原位监测;用XRD分析进行后位的薄膜结构表征;使用原子力显微镜来观测薄膜的形貌及晶粒大小.结果表明,我们成功地在蓝宝石衬底上外延了具有三重旋转织构的a轴取向萤石相YSZ薄膜,其外延关系为YSZ(200)∥TiO_2(200)∥Al_2O_3(0001);YSZ[010]∥TiO_2[001]∥Al_2O_3[11-20].

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹰	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	47	169	7.0	9.0
2	李言荣	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	115	824	15.0	21.0
3	朱俊	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	34	102	5.0	6.0
4	经晶	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	3	1.0	1.0
5	罗文博	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	25	79	5.0	6.0