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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
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19905
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  • 1. 磁控溅射W-Ti-N/MoS2薄膜及其摩擦学性能研究
    作者： 唐华 孙建荣 李洪苹 李长生 杨峰 胡志立 莫超超 郭志成
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1061-1066
    摘要： 采用W靶、Ti靶及MoS2靶,先制备W-Ti-N薄膜,然后再在其上面沉积MoS2纳米薄膜得到w-Ti-N/MS2纳米双层薄膜,通过多次实验得到溅射W-Ti-N/MoS2薄膜的最佳工艺如下:溅...
  • 2. (Ti,Al,Zr)N多元硬质膜的退除方法与工艺研究
    作者： 张钧 贾恒
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1067-1073
    摘要： 利用多弧离子镀技术并使用Ti-Al(原子百分比50∶50)合金靶与Zr单质靶组合在高速钢基体上镀覆(Ti,Al,Zx)N硬质反应膜.使用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂及氢氧化钠配制膜层退除液,通过改...
  • 3. 基于磁控溅射技术的CrCN镀层钢球对轴承温升性能的影响
    作者： 常家东 李言 谢银涛 贾贵西
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1074-1077
    摘要： 应用非平衡磁控溅射离子镀技术在6204轴承钢球、45JHJ钢片及单晶硅片的表面制备出CrcN复合镀层,对CrCN复合镀层的表面粗糙度和摩擦学性能进行了测试,并对CrCN复合镀层钢球轴承和无镀...
  • 4. PVD法制备TiN涂层界面特征与摩擦磨损性能
    作者： 付永忠 吴永忠 孔德军 王文昌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1078-1083
    摘要： 采用物理气相沉积法在Cr12MoV钢基体上制备了TiN涂层,利用扫描电镜、能量色散谱、X射线衍射和轮廓仪对涂层形貌特征、化学元素、物相组成和表面粗糙度进行了表征,用划痕法测试其结合强度,并分...
  • 5. 基底偏压对电弧离子镀NiCrAlY涂层阻尼性能的影响
    作者： 孙伟 巴德纯 杜广煜 柴昊 谭祯 韩清凯
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1084-1088
    摘要： 采用电弧离子镀方法在不锈钢基片上制备了NiCrAlY涂层,在制备过程中改变基底偏压分别取50,100,200,300V.对涂层样品分别进行物相分析,表面形貌观察,测定微区化学成分,并利用动态...
  • 6. 基于AlGaN/GaN HEMT结构的氢气传感器
    作者： 汪莱 罗毅 郝智彪 郭智博
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1089-1092
    摘要： 制作了栅极修饰金属Pt的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管结构的氢气传感器.栅极Pt采用溅射的方法制作,主要起到形成肖特基接触并催化氢气裂解的作用.器件的栅极敏感区域尺寸为5 μm×400...
  • 7. 速调管圆柱同轴谐振腔高阶TM310模式输出回路
    作者： 刘永霞 董玉和
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1093-1097
    摘要： 设计了工作于高阶横磁TM310模式圆柱同轴谐振腔.模拟计算了六个漂移管间隙中心轴向谐振电场极大值位置处的特性阻抗.对于谐振腔加载空矩形波导和加载电感膜片滤波器矩形波导两种速调管输出回路,由微...
  • 8. 碱金属锑化合物膜层荧光特性测试与分析
    作者： 张云昆 李晓峰 陆强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1098-1102
    摘要： 叙述了Na2KSb(Cs)多碱光电阴极及其光致荧光的特点,测量了Na3Sb、K3Sb、Na＞2K＜1Sb和Na2KSb四种碱锑化合物膜层在785 nm波长激光激发条件下所发射荧光的峰值波长及...
  • 9. 一种半导体玻璃及其制作的体导电微通道板的特性表征
    作者： 吕景文 孙建宁 张正君 徐伟 潘京生 郑涛
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1103-1108
    摘要： 将微通道阵列移植到体导电基体可使微通道板(Microchannel Plate,MCP)免受离子反馈难题的困绕,而半导体玻璃可在不改变MCP的传统制作方法的基础上制作体导电MCP.一种特定组...
  • 10. O2/SF6气氛下光刻胶灰化反应的机理研究
    作者： 丁欣 侯智 刘祖宏 刘锋 徐大林 郑载润
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1109-1113
    摘要： 光刻胶的大面积灰化是TFT工艺的核心工艺之一,本文研究了在增强型电容耦合射频放电模式下,SF6比例对光刻胶灰化率的影响,并建立表面反应模型对此进行解释.研究表明,纯O2气体中加入少量SF6,...
  • 11. 172nm真空紫外光源的研制及驱动特性研究
    作者： 刘震 卜忍安 郭昕
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1114-1118
    摘要： 通过改进电极引出线以及氟化镁光窗的封接工艺,提高了真空紫外光源器件的可靠性,按照新的工艺流程设计并制作了新型172 nm真空紫外光源.在此基础上为了提高真空紫外光源的效率,对方波脉冲及正弦波...
  • 12. 微波等离子体化学气相沉积系统谐振腔研究
    作者： 周长庚 罗勇 邱瑞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1119-1122
    摘要： 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法是目前最有发展前景的高质量金刚石薄膜沉积方法之一,但由于谐振腔中微波与等离子体之间强烈的相互作用,人们很难根据经验对谐振腔进行改进,本文利用HFSS软...
  • 13. 真空铁热还原氧化锂制备金属锂的热力学分析与实验初探
    作者： 刘大春 刘永成 徐宝强 戴永年 杨斌 樊粉霞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1123-1128
    摘要： 通过相关的热力学理论计算,对常压及真空条件下以碳酸锂为原料分解成氧化锂以及铁热还原氧化锂制备金属Li进行了热力学分析,计算结果表明:常压下碳酸锂很难发生分解反应,当系统压力降到1Pa时,碳酸...
  • 14. 分子相互作用体积模型在真空蒸馏分离铅锡合金中的应用
    作者： 孔令鑫 徐宝强 李一夫 杨斌 杨红卫 贾国斌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1129-1135
    摘要： 运用分子相互作用体积模型(MIVM),结合Pb、Sn的无限稀活度系数γ∞Pb、γ∞Sn,通过牛顿迭代法计算出参数Bij和Bji,利用参数Bij和Bji计算Pb-Sn合金中Pb、Sn的活度系数...
  • 15. 一种氦源装置的设计与应用
    作者： 冯晓 廖旭东 张宇 白国云 胡茂中 陈涛
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1136-1139
    摘要： 针对被检对象不允许另行开设检漏接口的检测要求,设计了一套氦源控制释放装置系统.系统中,气路以手动和电动相结合的控制方式可实现调试与预置模式的快速转换；其中,电动控制采用冗余设计,提高了系统控...
  • 16. 细长管道检测长度对检漏结果及效率影响的实验测试及分析
    作者： 冯晓 廖旭东 张宇 白国云 陈涛
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1140-1144
    摘要： 为提高喷吹法检测细长管路的工作效率,需确定管路检漏长度与检漏效率之间的关系.本文以理论分析结果为依据,设计了管道内径为Φ40 mm,长度分别为30,36,48,72,108,156 m的实验...
  • 17. 汽轮机凝汽器空气漏入率在线检测方法
    作者： 周广顺 姚飞 王学同 郭盈
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1145-1148
    摘要： 提出了一种新的汽轮机凝汽器空气漏入率在线测量方法,阐述了测量原理并推导出了计算公式.在此基础上,搭建了模拟电厂凝汽器抽真空管道环境的实验台并对整个实验系统进行了不确定度分析,通过实验设定值与...
  • 18. 猕猴桃真空干燥控制系统与工艺的研究
    作者： 张秦权 文怀兴
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1149-1153
    摘要： 利用改进后的真空冷冻干燥机,对猕猴桃切片进行了真空冷冻的研究.在干燥过程中,为了提高猕猴桃切片品质和色泽,本文改进了控制系统,加入了湿度控制模块,进行了真空冷冻干燥试验.通过猕猴桃切片的试验...
  • 19. 真空玻璃技术与应用分析
    作者： 李继定 王元麒 王磊
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  1154-1158
    摘要： 研究真空玻璃技术的性能及应用分析.基于热量传递理论,分析了真空玻璃的工作原理和性能特点；介绍了真空玻璃生产的关键技术难点,针对传统的外加支撑点真空玻璃结构具有支撑物材料选择制作难、支撑点多均...
  • 20. 《真空钳学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2012年12期
    页码:  后插1
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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