真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 丁明清 冯进军 廖复疆 李兴辉 李含雁 白国栋
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  303-308
    摘要: 在Spindt场发射阴极制作工艺流程中,剥离层对于形成良好的发射尖锥形状至关重要,同时它也是实现阴极阵列中尖锥均匀性的关键因素.本文研究了几种常用的剥离层材料包括金属铜,Al2O3以及水溶性...
  • 作者: 徐勇 李宏福 熊彩东 王丽 王建勋 王晖 罗勇 蒲友雷 鄢然
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  309-314
    摘要: 给出了一种十字交叉形TE10□-TE01○宽带模式变换器的设计原理.同时,完成了一支Ka波段TE10□-TE01○模式变换器的设计方案.根据该设计方案在高频分析软件HFSS中建立三维模型进行...
  • 作者: 李实 李秦龙 胡欣
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  315-320
    摘要: 模拟预失真是补偿行波管非线性失真的一种非常重要的方法.不过,目前大多数的预失真器需要在输入输出端加隔离器,增加了系统的复杂性.本文介绍一种工作在L波段的基于二极管的预失真线性化器.这种预失真...
  • 作者: 张院民 徐长有 赵世柯 赵建东 郝保良
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  321-325
    摘要: 行波管工作在非常恶劣的环境下,对结构可靠性具有很高的要求.本文探讨了国内外学者及科研机构对行波管结构动力学特性分析的研究方法和研究情况,利用有限元模仿真分析和随机振动试验相结合的方法,进行了...
  • 作者: 占建英 屠彦 张玮 张盼盼 杨兰兰 马善乐
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  326-330
    摘要: 采用粒子,蒙特卡罗模型对气体电子倍增器工作在轻惰性气体Ne和重惰性气体Xe中的倍增过程和增益特性进行了比较研究.研究结果表明,轻惰性气体Ne较重惰性气体Xe具有更高的时间分辨率,更高的有效探...
  • 作者: 张天平 李雪春 田立成 石红
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  331-336
    摘要: 采用一维和双离子自洽流体模型研究了等离子体浸没离子注入圆柱形聚对苯=甲酸乙=醇酯介质内表面的离子鞘层动力学.在模型中,考虑工作气体为氮气时离子成分为氮原子离子N+和分子离子N2+.计算结果表...
  • 作者: 李建 王坤
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  337-341
    摘要: 为了研究空气介质阻挡放电(DBD)对聚乙烯表面吸湿性的影响及其机理,在本文中利用空气DBD对PE表面进行改性研究.利用测量水接触角测试仪测量样品的水接触角,应用红外光谱(FTIR-ATR)、...
  • 作者: 吕印定 尚中选 张燕 顾彪
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  342-345
    摘要: 在介质阻挡放电装置中,使用阻抗匹配网络后,当气体间隙为3mm时,在大气压氮气中获得了均匀介质阻挡放电等离子体,放电模式为汤森放电.在其他放电参数不变的情况下,放电电流和放电功率随着外加电压峰...
  • 作者: 张开银 武山 赵晓云
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  346-350
    摘要: 建立了包含两种不同种类正离子的磁化等离子体鞘层的流体模型,通过四阶龙格库塔法数值模拟了含有两种不同种类正离子对等离子体鞘层中尘埃粒子的影响.结果表明对于含有He+和Ar+的稳态等离子体来说,...
  • 作者: 张静全 潘宇东 田树平 苟富均 贺平逆
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  351-357
    摘要: 采用分子动力学方法模拟不同能量的C+离子与聚变材料钨的相互作用.模拟结果表明:当C+离子入射剂量为3.11×1016 cm-2,入射能量为50eV时,样品表面形成一层碳膜;而入射离子能量为1...
  • 作者: 唐华 李长生 梁家青 胡志立
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  358-361
    摘要: 通过对固相合成NbSe2过程中特殊形貌的产生,尝试提出“微量氧诱导机制”.在混合均匀的硒粉铌粉分别占固相反应釜不同的有效体积,经过700℃,1h反应后发现分别形成不同的特性形貌,采用X射线衍...
  • 作者: 刘方元 王健 胡强 赵勇
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  362-367
    摘要: 本文提出并初步实现一种提高等离子显示面板(PDP)出光率的多层干涉型反射膜,其中高折射率材料采用金属诱导多晶硅,低折射率材料采用二氧化硅,并通过实验得到了可见光波段平均反射率为80%的平面高...
  • 作者: 刘国军 曲轶 李再金 李林 李特 王勇 芦鹏 薄报学 马晓辉
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  368-370
    摘要: GaAs基半导体激光器芯片在空气中解理后,解理腔面会被空气氧化形成腔面缺陷,在腔面形成的缺陷严重影响了器件的寿命.用GaAs衬底表面模拟半导体激光器的解理腔面,研究了不同的光学薄膜对GaAs...
  • 作者: 杨芳儿 沈涛 郑晋翔 郑晓华
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  371-376
    摘要: 采用脉冲激光烧蚀氮化碳薄膜靶,在室温至450℃基片温度下制备了CNx薄膜.利用扫描电镜、X射线衍射仪、X射线光电子谱仪和拉曼光谱仪等对薄膜的形貌、结晶性和结合键状态进行了表征.采用球-盘式摩...
  • 作者: 于飞 曾群锋 林凯生 毛军红 董光能
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  377-381
    摘要: 采用非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上以C2H2为反应气源制备了含氢类金刚石(DLC)膜.使用激光拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪和原子力显微镜分析和观察了DLC膜的微观结构及表面形貌,结果表明...
  • 作者: 刘洪金 周旭 池华敬 焦存柱 王双 章其初 郭帅 陈革
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  382-386
    摘要: 在制备不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷集热管的真空磁控溅射镀膜线上,采用PCV25型压电陶瓷阀作为反应气体氮气N2流量输出的驱动元件,实现反应溅射AlN反馈控制.研究了不同环境温度下压...
  • 作者: 孙超 宫骏 肖金泉 赵彦辉 郎文昌
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  387-391
    摘要: 电弧离子镀工艺中电弧蒸发产生的大颗粒污染严重影响了所沉积涂层的性能.为了从源头上解决大颗粒难题,本文提出了一种新的旋转横向磁场的设计思路,通过频率和强度可调且覆盖整个靶面的旋转横向磁场控制弧...
  • 作者: 常本康 葛仲浩 鱼晓华
    发表期刊: 2013年4期
    页码:  392-395
    摘要: 为了优化GaAs基片的加热清洗工艺,获得原子级清洁表面,用四极质谱仪研究了GaAs基片高温加热清洗过程中常见气体及Ga、As元素的脱附规律.研究结果表明:常见气体(H2、H2O、N2、CO、...
  • 作者: 张效华 杨丰 胡跃辉 陈义川 陈俊 陈新华 马德福
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  397-401
    摘要: 采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备了ZnO∶ Li薄膜.研究了薄膜厚度对薄膜结构及光电性能的影响,结果表明:所有薄膜均由具有c轴优先生长取向的六角纤锌矿结构的ZnO晶体构成,晶体的粒径随厚度的...
  • 作者: 何代华 刘平 刘新宽 李伟 王卫兵 陈小红 马凤仓
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  402-407
    摘要: 采用化学水浴(CBD)法在InCl3·4H2O和CH3CSNH2的酸性混合溶液体系中分别通过改变pH值、溶液nIn∶nS浓度比及溶液温度参数依次制备In2S3薄膜,并通过X射线衍射、扫描电镜...
  • 作者: 吴卫东 干泰原 曹林洪 陈飞
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  408-414
    摘要: 采用外置电感耦合等离子体化学气相沉积法,以高纯CH4/N2/CO2/H2作为反应气体,制备出非晶的a-CHON薄膜.研究了放电功率对薄膜沉积速率、表面形貌及光学性能的影响.结果表明沉积速率随...
  • 作者: 张效华 杨丰 胡跃辉 辛凤 陈义川
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  415-418
    摘要: 采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5Zn1.0Nb1.5 O7(BZN)陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/TiO2/SiO2/Si(100)基片制备立方BZN薄膜,衬底温度在5...
  • 作者: 周东方 张国栋 张晋玮 戈田一 杨林川
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  419-425
    摘要: 针对小型化行波管对高压电源的特殊应用要求,提出了两级式Boost-半桥谐振倍压高压变换器结构.高压变换器第二级半桥电路利用变压器漏感和开关管寄生电容进行谐振,实现了主开关管的软开关.通过对前...
  • 作者: 刘濮鲲 刘述清 韦宇祥 黄明光
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  426-430
    摘要: 为测量行波管电子注的能量分布,本文设计和验证了一个减速电场能量分析器(retarding field energy analyzer,RFEA).该能量分析器由一个连接负偏压的减速环、一个电...
  • 作者: 朱小芳 李建清 李斌 杨中海 胡玉禄 金晓林 马俊建
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  431-438
    摘要: 回旋速调管是一类具有重要应用前景的高功率、高效率和高增益相干毫米波源.本文简要介绍了回旋速调管的结构和工作原理,重点评述了回旋速调管注波互作用理论的发展状况和趋势,指出了发展中存在的一些问题...
  • 作者: 李海龙 殷勇 王彬 蒙林 陈玲
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  439-443
    摘要: 针对在高频率、高效率、低磁场以及低电压工作方面具有自身独特优势的扩展互作用速调管(EIK)谐振系统进行了研究,主要目的是在保持其已有优势的情况下增加带宽.在EIK谐振系统研究的基础上,通过优...
  • 作者: 张天平 李小平 李忠明 贾艳辉
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  444-448
    摘要: 离子推力器地面寿命考核和加速寿命试验是在地面真空舱中进行的,真空舱本底真空会对离子推力器性能和寿命特别是加速栅截获电流有重要影响.为了确定20 cm氙离子推力器地面试验本底压力,本文采用PI...
  • 作者: 刘德权 徐红兵 朱根良 王明建
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  449-453
    摘要: 为了获得更高的弹丸加料效率,在HL-2A装置上开展了强场侧弹丸注入.本文主要介绍了一种新的注入方式一强场侧弹丸注入,详细介绍了强场侧弹丸注入的工程设计,同时也进行了弹丸在导管中的数值模拟计算...
  • 作者: 李长征 胡建生 陈跃
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  454-457
    摘要: 超导托卡马克(EAST)弹丸注入系统能够连续制备和发射多颗弹丸,其能够在连续100 s的弹丸发射过程中保证可靠性大于99.6%.弹丸形状为直径2mm,长度2mm的圆柱体,注入频率1~ 10H...
  • 作者: 刘志伟 崔伟 胡纯栋 谢远来 陶玲
    发表期刊: 2013年5期
    页码:  458-461
    摘要: 为了维持EAST-NBI内的真空环境以满足中性束生成与传输过程对真空压力分布的要求,设计了EAST-NBI用差分式低温冷凝泵.本文概述了中性束注入加热的原理以及EAST-NBI真空系统的组成...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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