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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 1. 15-5PH不锈钢基体上硬质膜层制备及性能研究
    作者： 沈丽如 童洪辉 许泽金 金凡亚 陈美艳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  197-202
    摘要： 对比不同的表面处理工艺,选择多弧离子镀方法在15-5 PH不锈钢基材表面制备TiN硬质涂层.分析制备工艺对膜层的表面硬度、膜/基结合强度、膜层结构等基本物理性能的影响,进行工艺优化.结果显示...
  • 2. 磁过滤阴极电弧技术沉积高sp3键含量四面体非晶碳薄膜的工艺优化研究
    作者： 刘德连 张涛 韩亮
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  203-207
    摘要： 通过对不同基片偏压下磁过滤器电流对四面体非晶碳(ta-C)薄膜sp3键含量影响的研究,探讨了磁过滤阴极电弧技术制备高sp3键ta-C薄膜优化工艺条件.在不同的基片偏压下,薄膜沉积率随着磁过滤...
  • 3. 涂层结构对Ti-Al-N涂层氧化行为的影响
    作者： 彭继华 田君 肖新生 苏东艺
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  208-213
    摘要： 采用多弧离子镀技术及TiA合金靶,在SKH51高速钢基体上沉积了Ti1-xAlxN单层构型涂层和TN/Ti1_xAlxN复合多层构型涂层,分析其高温氧化行为.用扫描电镜、X射线衍射、电子探针...
  • 4. 硬质合金表面TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N梯度膜的微结构与力学性能
    作者： 张钧 王双红 赵时璐 陈卫华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  214-218
    摘要： 采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶和Cr单质靶,在wc-8％co硬质合金基体上制备了TiAlZrCr／(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元梯度膜.分析了梯度膜的成分、结构和微观组织...
  • 5. Ka波段滤波器加载三间隙耦合腔输出回路的仿真和测试
    作者： 王勇 葛萌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  219-223
    摘要： 扩展相互作用速调管由多个重入式多间隙耦合腔构成,毫米波段高功率微波源的需求推动了Ka波段扩展互作用速调管的研制.本文采用基于微波网络理论的多间隙耦合腔输出回路间隙阻抗冷测方法,对Ka波段滤波...
  • 6. 覆Os膜M型阴极高发射性能随真空度变化的研究
    作者： 彭真 王宇 王欣欣 阴生毅
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  224-227
    摘要： 在覆Os膜M型阴极工作于75 A/cm2高电流密度的情况下,逐级降低真空系统的真空度,测出了阴极电流密度随真空度变化的关系曲线.分析表明,当系统真空度为1.0x 10-5 Pa时,阴极发射开...
  • 7. 气体电子倍增器透过率和增益特性的研究
    作者： 屠彦 张盼盼 杨兰兰 秦娜娜 陈仲珊 马善乐
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  228-234
    摘要： 气体电子倍增器(GEM)是近年来发展起来的一种新型气体探测器.本文首先介绍了GEM的结构和模拟的原理,然后基于有限元的方法建立GEM三维模型,并计算电场分布,将所得的GEM结构模型导入GAR...
  • 8. 休斯型耦合腔慢波结构正向设计初步研究
    作者： 李建清 李斌 杨中海 白春江 胡玉禄
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  235-239
    摘要： 针对高效率耦合腔行波管提出一种正向设计的初步方法,可根据设计指标对其慢波结构进行快速的定量设计.其设计思想是在满足带宽内的注波互作用同步条件的基础上,尽可能提高总阻抗.为此提出“带宽相速差之...
  • 9. 不锈钢双极板表面Cr与Cr2N镀层导电与耐蚀性研究
    作者： 刘峰 李洪霞 李相波 肖宇 顾大明 黄国胜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  240-244
    摘要： 采用等离子体磁控溅射的方法在304不锈钢双极板表面沉积出致密均匀的Cr层和Cr2N层.运用X射线衍射、俄歇电子能谱、扫描电镜、界面接触电阻测试和动电位极化等方法,研究了表面镀层对不锈钢双极板...
  • 10. 掺钼氧化锌薄膜的发光特性
    作者： 孙兆奇 徐汉淑 朱煜东 李洪霞 石市委
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  245-248
    摘要： 使用磁控溅射法在石英基底上制备钼掺杂氧化锌薄膜.扫描电镜结果表明薄膜由晶粒大小为40～ 80 nm范围内的颗粒组成,薄膜具有六方纤锌矿型结构且沿c轴择优取向生长.在可见光范围(400～760...
  • 11. 晶体结构对Er/Yb共掺TiO2薄膜荧光光谱的影响
    作者： 谭娜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  249-252
    摘要： 通过对不同退火温度下Er/Yb共掺TiO2薄膜的结构和光致荧光光谱(PL)的分析,研究了退火处理所导致的晶体结构变化对薄膜荧光光谱的影响,探讨了薄膜的结晶状态在Er3+激活、荧光光谱形状等方...
  • 12. 不同本底压力下离子推力器电子反流失效的数值模拟
    作者： 刘恒 张天平 李小平 贾艳辉 陈娟娟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  253-256
    摘要： 针对20cm氙离子推力器具体设计和工作参数,采用二维轴对称模型的网格质点和蒙特卡罗碰撞方法模拟计算了氙离子和氙原子在离子推力器栅极系统中的运动.模拟得到了在不同本底压力下交换电荷离子对加速栅...
  • 13. 不同间隙条件下同轴型介质阻挡放电的模拟与实验研究
    作者： 孙保民 曾菊瑛 杨斌 汪涛 肖海平 饶甦
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  257-261
    摘要： 主要目的是为了研究气体间隙大小对介质阻挡放电脱除NO的影响.通过改变间隙大小,对反应器内静电场进行计算,用玻尔兹曼方程对反应器内的电子分布函数进行分析,并实验研究了间隙大小对NO脱除的影响....
  • 14. 多层等离子体蚀刻技术的研究
    作者： 于斌斌 汪振华 薛志松 袁军堂 黄云林
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  262-266
    摘要： 干法刻蚀现已成为微小高深宽比结构加工与微细图形制作的重要手段.提出了一种新的干法刻蚀技术一多层等离子体蚀刻,充分利用腔体的空间布局,布置多层电极,并采用分层送气装置输送放电气体,实现多层同时...
  • 15. Al2O3-Cr多层中高温选择吸收薄膜的研究
    作者： 弥谦 杭凌侠 潘永强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  267-270
    摘要： 太阳能选择吸收薄膜是太阳能集热器的关键部分,本文提出基于Al2O3介质和金属Cr的多层结构的选择吸收膜系,首先采用电子束热蒸发在硅基底上沉积了单层Cr薄膜,通过椭偏仪测试并分析了Cr薄膜的光...
  • 16. Ⅱ-Ⅵ族材料在叠层太阳能电池中的应用
    作者： 刘超 崔利杰 曾一平 杨秋旻
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  271-276
    摘要： Ⅱ-Ⅵ族材料ZnSe、CASe、ZnTe、CdTe等具有禁带宽度大,少子寿命对位错不敏感等优点,可以作为一种新的材料体系应用于叠层太阳能电池中.此类材料既能够与铜铟镓硒电池、Ⅲ-V族材料、单...
  • 17. 低出口压力下喷嘴内部空化流动模拟分析
    作者： 孙越 巴德纯 李宏宇 李建昌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  277-283
    摘要： 采用Ansys Fluer软件并基于Schnert与Sauer空化模型,对出口压力小于10 Pa平口喷嘴内部的空化流动进行了模拟,研究了喷射压力和喷嘴直径对喷嘴内部蒸汽体积和湍动能分布的影响...
  • 18. 平口喷嘴的真空射流雾化模拟分析
    作者： 孙越 巴德纯 李宏宇 李建昌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  284-288
    摘要： 基于breakup和collsin液滴破碎模型采用Fluent和Gambit软件对平口喷嘴的真空射流雾化进行了模拟,研究了环境压力、喷射压力和喷嘴直径等参数对射流雾化结构和液滴索特平均直径(...
  • 19. 双级滑阀真空泵振动平衡的研究
    作者： 于振华 姜康 李志远 胡焕林
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  289-292
    摘要： 研究了双缸结构的双级滑阀真空的振动平衡,提出了定量平衡双级滑阀真空泵振动的方法；运用最小二乘法获得多级平衡配重的关键参数,精确平衡双级滑阀真空泵的不平衡惯性力.以2IH-150滑阀真空泵为例...
  • 20. SiO2对氟磷酸钙真空碳热还原反应的影响
    作者： 刘予成 刘永成 李秋霞 邱臻哲
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年3期
    页码:  293-296
    摘要： 采用热力学分析、X射线衍射及化学分析等手段,对真空下SiO2在氟磷酸钙碳热还原过程的行为以及siO2添加量对还原率的影响进行了研究.热力学结果表明,当压力为100 Pa和温度高于1075℃时...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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