真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 刘静 彭晓东 杨闯 洪流 马亚芹
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1146-1149
    摘要: 为了改善表面性能,对TC4钛合金在不同温度下进行低压真空渗氮处理.采用扫描电子显微镜和X射线衍射分析了渗氮层的组织结构,测试了渗氮层的显微硬度和耐磨性.结果表明,TC4钛合金经低压真空渗氮处...
  • 作者: 崔建东 张艳 杜军 苑鹏
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1150-1154
    摘要: 利用“动态吸气法”测试了Ti-Mo吸气材料在不同工作温度条件下吸气性能的变化,采用四极质谱仪监测激活过程中真空腔体内残余气体成分及含量.结果表明:工作温度越高,材料的起始吸气速率越高,但当工...
  • 作者: 张铜 彭晓华 李小平 王光伟 蒋迪奎 郭盘林
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1155-1159
    摘要: 研制了一套由导入室、制备室和储藏室组成的三室Load-Lock超高真空GaAs光阴极制备装置,用于中国科学院高能物理研究所自主研制的500kV光阴极直流高压电子枪系统.在本装置中,采用溅射离...
  • 作者: 何新智 李德才 王虎军
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1160-1163
    摘要: 磁性液体密封是磁性液体最重要最成熟的应用之一.通常,在分析磁性液体的密封性能时重力被忽略,但随着磁性液体应用的发展,有些工况重力会严重影响磁性液体密封的密封性能,甚至导致密封失效.本文通过实...
  • 作者: 冯勇建 黄俊
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1164-1168
    摘要: 以传统的大平板热保护法测量绝热材料为理论基础,提出基于埋入式热流计法快速测量真空绝热板导热系数的方案.通过有限元分析软件ANSYS仿真分析,证明了该测量原理的可行性.通过硬件电路设计和相关测...
  • 作者: 何鹏飞 余洁冰 屈化民 康玲 邹易清 陈佳鑫
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1169-1172
    摘要: 为实现快速远距离操作,大口径六片式卡箍快卸链条结构被用于CSNS/RCS横向束流准直系统.考虑接触非线性和材料非线性,本文使用ANSYS,首次从理论上分析了该快卸链条在单片链条不同角度时对密...
  • 作者: 傅鹏飞 孙智慧 林晶 钱锋
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1173-1177
    摘要: 采用辉光弧光协同共放电混合镀方法在A3碳钢基体上沉积氮化钛薄膜,通过改变Ar/N2流量比,研究Ar/N2流量比对TiN薄膜结构及硬度的影响.X射线衍射谱图表明制备的TiN有明显的(111)晶...
  • 作者: 张冲 晁云峰 李聪慧 郑锦华
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1178-1183
    摘要: 利用射频法非平衡磁控溅射设备在钛合金板上沉积了非晶态SiC-Al薄膜.为了降低薄膜的摩擦系数,在薄膜中添加Al原子,同时Al也被选择为中间过渡材料来提高界面结合强度和防止界面氧化.研究结果表...
  • 作者: 于飞 刘官 曾群锋 董光能
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1184-1191
    摘要: 采用非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上制备了类金刚石(DLC)膜.采用球盘式摩擦磨损试验机考察了DLC膜在大气和真空环境干摩擦条件下的摩擦学性能,并比较分析了GCr15钢球和Si3N4球不同摩...
  • 作者: 公发全 卢俊 吕起鹏 孙龙 李刚 王锋 金玉奇
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1192-1196
    摘要: 采用一种新型的等离子体辅助脉冲直流磁控溅射溅射沉积方法,在低温状态(100℃)下制备了氮化钛薄膜,利用X射线衍射仪、轮廓仪、分光光度计、原子力显微镜对氮化钛薄膜进行了表征,研究了等离子体源在...
  • 作者: 董光能 郭飞飞
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1197-1201
    摘要: 利用高温钝化处理方法,在Co-Cr-Mo合金表面得到钝化膜.标准摩擦试验考察了不同温度钝化试样在牛血清白蛋白溶液润滑下的摩擦学特性.表面轮廓仪、硬度测试仪、扫描电镜及X-射线衍射光谱仪分别表...
  • 作者: 华云峰 姬寿长 李争显 杜继红 王宝云 王彦锋
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1202-1205
    摘要: 采用等离子增强电弧离子镀联合磁控溅射工艺制备了含35%(原子比)C的(Ti,Al,Si,C)N硬质膜层,并利用扫描电镜、X射线衍射仪及高温摩擦磨损试验仪表征了膜层在不同退火条件下的性能及组织...
  • 作者: 张以忱 李傲 李建军 黄英
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1206-1214
    摘要: 对普通矩形平面靶的磁场分布、电子运动轨迹和电子分布进行了理论计算.通过磁场的解析表达式,解出电子在磁场中的运动方程,求得并从理论上解释了电子的运动轨迹.由电子的运动轨迹,并运用Monte C...
  • 作者: 代玉 王金梅 郑培超
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1215-1221
    摘要: 运用权重粒子和电荷分配等方法将系综蒙特卡罗模型改进为自洽蒙特卡罗模型,方便地实现粒子系统与电场的自洽作用,既能完整地记录所有带电粒子在某一时刻的具体位置、运动方向和能量,又能获得自洽电场随时...
  • 作者: 于大全 张名川 杨盟 王京 靖向萌
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1222-1227
    摘要: 玻璃通孔(TGV)技术被认为是下一代三维集成的关键技术,该技术的核心为深孔形成工艺.感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是半导体领域中深孔形成的重要手段之一.本文通过正交实验设计方法,研究IC...
  • 作者: 刘纯亮 张小宁 胡一华 薛涛
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1228-1233
    摘要: 研究了退火工艺对金属-绝缘体-金属(MIM)器件(Al-Al2O3-Ti/Au结构)的发射特性的影响.在对MIM器件Ti/Au顶电极进行退火处理后,金属离子渗入绝缘层形成掺杂,器件发射电流密...
  • 作者: 刘濮鲲 杜朝海 沈文渊 王斌 王虎 耿志辉
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1234-1241
    摘要: 基于毫米波准光模式传输和变换理论,详细研究了准光模式激励器通过波纹喇叭天线、准抛物柱面反射器和同轴开放式谐振腔激励圆极化高阶目标模式的原理.分析了W波段波纹喇叭天线产生准高斯模式HE11的过...
  • 作者: 关跃 张廷安 张锐 文明 豆志河
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1242-1245
    摘要: 为改变硅热法炼镁工艺存在资源利用率低、能耗高等缺陷,本文提出了造球→煅烧→还原硅热法炼镁新工艺,并对其造球关键步骤进行研究.考察了煅烧温度、制度等对煅烧效果的影响规律,结果表明:白云石球团煅...
  • 作者: 冯乃祥 彭建平 朱钢立 狄跃忠 王耀武
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1246-1251
    摘要: 热力学分析了铝还原剂从MgO、2MgO·B2O3和3MgO·B2O3中提取金属镁的化学反应.实验研究了制团压力、CaF2添加、还原温度、还原剂用量等对氧化镁还原率的影响.结果表明,适当地提高...
  • 作者: 柳小林
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1252-1256
    摘要: 采用Tersoff势函数与LJ势函数,结合速度形式的Verlet算法,建立了有不同手性、不同硅碳比和不同空位缺陷率的两层和三层硅功能化石墨烯的分子动力学数值模型,测算了石墨烯的层间距为0.3...
  • 作者: 丘泰 张小敏 张振忠 雷艳惠
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1257-1261
    摘要: 为了制备高性能银导体浆料,由直流电弧等离子体蒸发法制备超细银粉.采用自制银粉、有机载体和玻璃粉成功制备了厚膜导体浆料,并系统研究了烧结工艺对银浆导电性能的影响.结合X射线衍射、X射线荧光分析...
  • 作者: 张海波 曹猛 翁明 赵红娟
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1262-1266
    摘要: 建立了一个主要由单把脉冲电子枪和一个二次电子收集极构成的测量装置用于室温下绝缘体二次电子发射系数的测量.通过给收集极设定负偏压,本文提出了一种新的电荷中和方法,有效地中和了在测量过程中累积在...
  • 作者: 周武平 张凤戈 李建奎 梁俊才 王铁军 穆健刚 赵栋梁
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1267-1271
    摘要: 基于磁控溅射磁性薄膜存在铁磁性靶材难以正常溅射的问题,本文从改善靶材的制备工艺,提高靶材表面漏磁率出发,结合Co-Cr-Ta合金的差示扫描量热法曲线,采用不同的热处理制度对Co-Cr-Ta合...
  • 作者: 党新安 朱帅 杨立军
    发表期刊: 2014年11期
    页码:  1272-1277
    摘要: 板栗脱壳历来是板栗加工的技术难题,本文介绍了板栗在真空中破壳的机理的研究现状.根据板栗的几何尺寸和物理参数,用ANSYS软件建立了板栗的有限元分析模型.分别用ANSYS模拟了在加热过程中的湿...
  • 作者: 史亮 李得天 杨生胜 汤道坦 王俊 秦晓刚 赵呈选 陈益峰
    发表期刊: 2014年12期
    页码:  1279-1284
    摘要: 地球同步轨道航天器在地磁亚暴环境下处于向光面和背光面的两侧会产生电位差.本文利用高能电子和高能离子的双麦克斯韦分布拟合同步轨道环境等离子体并加入二次电子和光电子的影响,建立了航天器的三维计算...
  • 作者: 于德恩 刘晓明 邹积岩
    发表期刊: 2014年12期
    页码:  1285-1289
    摘要: 搭建多端直流输电用直流真空断路器模块,基于连续过渡模型,结合重击穿判据,利用变步长四阶龙格库塔法,对直流真空断路器弧后介质恢复进行仿真分析.仿真结果表明:弧后电流初始变化率高,而后缓慢变化,...
  • 作者: 万耿民 唐福俊 孙运奎 杨福全 赵以德
    发表期刊: 2014年12期
    页码:  1290-1293
    摘要: 电推力器工作时,氙气供气管路上必须设置气路电绝缘器抑制因低气压放电引起的击穿,以确保电推力器正常工作,并避免卫星结构带电.通过气路电绝缘器工况分析,在帕邢放电原理基础上,对提出的几种气路电绝...
  • 作者: 吴伟杰 周耀东 方志
    发表期刊: 2014年12期
    页码:  1294-1303
    摘要: 大气压低温等离子体射流是一种新型的等离子体放电技术,它具有运行温度低、可控性好、操作简单等特点,但其产生的等离子体体积小,不适合大面积处理.对单个等离子射流源进行一维、二维上的扩展形成阵列结...
  • 作者: 曹萍丽 朱建峰 李强 郑允宅
    发表期刊: 2014年12期
    页码:  1304-1309
    摘要: 基于对等离子喷涂涂层电子扫描微观结构的分析制定一组层片形成及交互作用和孔隙形成的基本法则,利用蒙特卡罗方法建立等离子喷涂涂层形成的数值模型,预测涂层的微观结构及其孔隙率和表面粗糙度特征,并探...
  • 作者: 刘畅 孔一涵 臧侃 董华军 郭方准
    发表期刊: 2014年12期
    页码:  1310-1314
    摘要: 真空开关电弧形态及其变化规律对真空开关开断性能有着重要影响,而触头动态开距大小是影响电弧形态变化重要因素,如何准确检测触头动态位置从而计算触头动态开距具有重要的意义.真空开关电弧图像灰度分布...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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