真空科学与技术学报期刊
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 孙跃 宋广平 李明伟 李晓 林秀 赫晓东 赵轶杰
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  255-258
    摘要: 电子束物理气相沉积技术被采用制备大尺寸高温合金薄板,靶基距和不同坩埚中锭料蒸发速率对厚度均匀性的影响规律被研究.研究结果表明,靶基距对锭料的有效蒸发效率和厚度均匀性具有重要影响.靶基距低,有...
  • 作者: 刘佳 张慧婧 钟永恒
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  259-265
    摘要: 基于德温特专利数据库以及中外专利数据库,利用汤姆森数据分析器等分析工具,以真空泵防腐技术领域的专利为研究对象,从宏观、中观、微观三重视角,对真空泵防腐技术的专利进行分析.分析重点涉及全球专利...
  • 作者: 娄鹏 徐伟强 杨国栋
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  266-270
    摘要: 机载液氢储罐对静态日蒸发率、结构强度、储氢质量密度等要求较高.针对特殊的绝热要求和工作环境,对无人机机载液氢储罐绝热结构进行创新设计.选取高真空多层绝热的绝热方式;首次提出一种组合式点接触绝...
  • 作者: 何佳 周涛 张海霞 李忠贤 王呼生 薛康 邹凯 鲍秀珍
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  271-275
    摘要: 在TCO玻璃衬底上依次采用化学水浴法和真空热蒸发工艺沉积CdS、CdTe薄膜,并在不同条件下进行热处理,制备了CdS/CdTe异质结复合薄膜.通过X射线衍射、扫描电镜,紫外-可见(U-V)透...
  • 作者: 夏茹 孙兆奇 朱旭 石市委
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  276-280
    摘要: 采用溶胶-凝胶的方法在玻璃基片上制备了纳米ZnO薄膜,利用月桂酸钠、硅烷偶联剂对ZnO薄膜进行改性以研究不同改性过程对ZnO薄膜光学及亲水性能的影响.利用接触角测试、扫描电镜、紫外可见光光度...
  • 作者: 吴晓松 李玉鹏 褚学宁
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  281-289
    摘要: 提出了基于数字模拟的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积氮化硅薄膜的工艺参数决策方法.氮化硅薄膜的主要影响因子和质量特性参数通过领域知识和专家意见先期获得,通过单因素物理试验获得工艺参...
  • 作者: 刘海彬 吴泓均 张民权 杨灵华 贺志勇 鲍明东
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  290-294
    摘要: 利用非平衡磁控溅射法在H13钢表面制备TiAlN镀层,将其在740℃的铝液中静态腐蚀4h,研究镀层在铝液中的失效机理.用场发射扫描电子显微镜对失效部位进行形貌观察及能谱分析.结果表明:引起镀...
  • 作者: 刘兴平 葛芳芳 谷文翠 陈春立 黄峰
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  295-300
    摘要: 采用不同的电源频率沉积新型硬质耐磨VB2涂层.用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)表征VB2涂层的结构;采用纳米压痕仪、划痕仪、摩擦试验机测试VB2涂层的力学性...
  • 作者: 刘海彬 吴泓均 唐宾 张民权 杨灵华 鲍明东
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  301-305
    摘要: 利用等离子体喷涂技术在镁合金基体表面制备三种含有不同成分增强剂的AlSi复合涂层,并研究了增强剂对复合涂层微观结构和摩擦磨损行为的影响.结果表明,不同形态的碳材料的添加可以有效的改善涂层的摩...
  • 作者: 何志毅 刘洪刚 周佳辉 常虎东 张旭芳 徐文俊 李思敏 李海鸥 李琦
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  306-310
    摘要: 采用金属Ni作为掩膜,C12/BCl3作为刻蚀气体,利用感应耦合等离子体刻蚀(ICP)技术对GaAs HEMT背孔工艺进行研究.本文详细研究了ICP功率、反应室压强、Cl2/BCl3流量比以...
  • 作者: 巴德纯 徐林 王庆
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  311-315
    摘要: 采用高压直流等离子体氮化技术,对医用锻造钴铬钼合金进行表面氮化处理,考察了氮化温度对钴铬钼合金摩擦性能及润湿性能的影响.运用X射线衍射仪分析氮化层物相组成,显微硬度计和光学动/静态接触角仪测...
  • 作者: 于宝海 孙超 宫骏 肖金泉 赵彦辉 郎文昌 闻立时
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  316-322
    摘要: 研究了旋转横向磁场对电弧离子镀弧斑运动的影响规律,采用有限元分析软件FEMM对旋转横向磁场的分布进行了模拟,考察了不同频率(80~210Hz)及电磁线圈励磁电流对弧斑运动的影响.从电弧斑点放...
  • 作者: 吴明忠 巩春志 李慕勤 田修波 魏荣华
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  323-329
    摘要: 采用高功率脉冲电源,研究了氩气气氛下工作气压、脉冲电压和频率等参数对笼网型空心阴极放电特性的影响,并对等离子体发射光谱进行了分析.结果发现:在脉冲电压增加到一定程度,脉冲电流随时间呈指数型(...
  • 作者: 孔祥峰 徐宝强 杨斌 熊恒 王威 邓勇 闫华龙
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  330-333
    摘要: 对高镉锌真空蒸馏分离锌、镉进行了理论分析和实验研究,考察了蒸馏温度、保温时间对锌、镉分离效果的影响.理论研究表明:在真空条件下高镉锌中的锌与镉具有分离的可能性.实验结果表明:提高蒸馏温度和延...
  • 作者: 刘大春 戴永年 李一夫 杨斌 毛金龙 王安祥
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  334-337
    摘要: 针对粗锡火法精炼工艺中砷、锑无法有效开路的问题,采用“真空挥发-分级冷凝”技术,对粗锡进行真空蒸馏精炼工业试验,控制炉内残压10~30 Pa,蒸馏温度1200~ 1400℃,日处理量18~2...
  • 作者: 伊家飞 刘大春 孔令鑫 戴永年 杨斌 熊恒
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  338-343
    摘要: 根据真空冶金原理,以分离含砷锑复杂铜镍合金中的元素砷和锑为目的,采用真空蒸馏法研究含砷锑复杂铜镍合金在真空(10~30 Pa)的条件下蒸馏过程中As,Sb的蒸发规律,考察蒸馏温度、恒温时间、...
  • 作者: 冯林平 常志伟 朱勇杰 李海龙 殷勇 王彬 聂涛 苏朕 蒙林
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  344-348
    摘要: 设计了一个在高效率、高频率、结构紧凑低磁场以及低电压工作等方面具有独特优势的0.14THz扩展互作用速调管慢波谐振系统.针对该慢波谐振系统进行了色散曲线的仿真计算,在色散曲线与PIC仿真的基...
  • 作者: 刘伟 彭香艺 莫晓亮 陈国荣
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  349-353
    摘要: 采用在真空蒸镀的Cu薄膜上喷雾热解InCl3和SC(NH2)2前驱液的方法,制备出CuInS2(CIS)薄膜.通过X射线衍射、紫外-可见分光光度计、扫描电子微镜和霍尔效应测试仪等仪器对薄膜进...
  • 作者: 安书董 王晓燕 王炎武 赵玉清 陈仙
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  354-357
    摘要: 利用氩离子束对硅基底表面进行轰击,形成了不同规则的纳米织构,对不同织构的变化规律进行系统的研究,采用原子力显微镜分析表面形貌.结果表明,随着氩离子垂直轰击基底表面的时间从0增加到15 min...
  • 作者: 李旻才 郝胜智
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  358-361
    摘要: 利用强流脉冲电子束进行AZ91铸造镁合金表面辐照改性,处理参数包括加速电压27kV,脉冲次数1到30次.使用金相显微镜、扫描和透射电子显微镜观察样品表层形貌和显微组织.研究表明,原始铸造组织...
  • 作者: 何小海 唐君 娄本超 张钦龙 曹超
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  362-366
    摘要: 近几年,在无损探伤领域,中子照相技术发展非常迅猛,对中子发生器提出了体积小、寿命长、通量高、准直比高的技术要求.为此设计了一台用于快中子照相的定向高通量小型中子发生器,采用矩形结构潘宁离子源...
  • 作者: 于治水 卢云龙 史海川 张培磊 褚振涛 马凯
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  367-371
    摘要: 为了改善Ni基钎料钎焊接头脆硬的共晶组织,本文采用BNi7+9%Cu复合钎料对纯镍进行真空钎焊.结果表明:温度越高,间隙越大,扩散影响区越大,钎缝区显微硬度越低,扩散影响区显徽硬度越高.当钎...
  • 作者: 安康 盛雷梅 秦晋 赵新洛 郁黎明
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  372-375
    摘要: 碳原子在石墨的同一平面内以六角晶格周期结构形式存在,在两种不同取向的石墨晶界处,会有五元环和七元环缺陷存在.这种缺陷会改变材料的电学,热学和力学等性质,研究这种缺陷结构对更深刻的理解sp2杂...
  • 作者: 展亮 曹文钢 李志远 陈长琦 黄国兴
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  376-379
    摘要: 建立了旋转靶的三维模型并对其进行了网格划分,利用ANSYS Workbench Fluent对旋转靶的温度分布进行了计算,得到了靶面温度分布云图.最后将FLUENT计算出的温度分布数据提取出...
  • 作者:
    发表期刊: 2015年3期
    页码:  后插1
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
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ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
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真空科学与技术学报统计分析

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