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真空科学与技术学报2015年第6期出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
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真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 容性耦合等离子体射频放电广泛应用于IC制造中的薄膜沉积、刻蚀工艺中,等离子体中的电子密度和平均电子温度直接影响离化及激发反应速率,其在放电腔室中径向分布的均匀性严重影响刻蚀和薄膜沉积的均匀性...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 电子密度是低温等离子体的重要参数之一,仅采用发射光谱或Langmuir探针一种诊断方法,很难测量出该参数及其分布.针对这一问题,提出了用Langmuir探针法标定的发射光谱法,用于诊断等离子...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 反应溅射存在不稳定性,需要对反应溅射过程进行非线性控制.分析了迟滞效应的不稳定特性,提出了基于PEM的非线性动态平衡控制法.以镀CrN膜为研究对象,靶原子光谱相对强度为反馈参数,用ATmeg...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 为了满足在EAST装置上开展高压气体注入缓解等离子体破裂实验研究需求,在单涡流驱动快速充气阀成功研制的基础上又研制成功了双涡流驱动快速充气阀.该快速充气阀由双涡流线圈驱动,且增加了一套可调节...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 电弧离子镀工艺中,弧斑的放电形式、运动速率、运动方式的控制对于减少以至消除大颗粒的发射至关重要.本文采用自主研发的机械式旋转磁控弧源,围绕三种不同模式的旋转磁场下弧斑的放电行为及规律进行了研...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 提出高碳锰铁预氧化-真空脱碳工艺以制备低碳锰铁.通过热力学计算表明高碳锰铁焙烧氧化过程满足脱碳热力学条件,脱碳反应将进行.脱碳同时锰和铁也被氧化,在873 K分别氧化为Mn2O3和Fe2O3...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 通过对TiO2碳热还原进行热力学计算,得出真空碳热还原技术能降低反应温度.采用X射线衍射以及电阻测量装置考察了TiO2真空碳热还原过程,并将最终还原产物制备成可溶性TiO阳极进行电解.结果表...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 通过对粗镁、粗锌同时蒸发产生的高温金属蒸气流,经高温下的气态混合和300～ 350℃冷凝后得到较纯净的镁锌二元合金,并对不同时间段的冷凝产物进行显微组织和能谱分析,其结果表明:冷凝产物的组织...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 对氧化铝真空碳热还原氯化歧化过程中AlCl2的相关反应进行热力学计算,结果表明在1760K,60Pa的条件下,Al2O与C、Al4C3与Al2O3、Al4O4C与C均可发生氯化反应,AlCl...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： Al2O3作为太阳能电池的钝化层,如果掺入稀土元素Er3+通过吸收红外光并将其上转换为可见光被硅吸收,则可以提高太阳能的利用率.本文采用磁控溅射法制备得到厚度为500nm左右的不同浓度Er3...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 利用磁控溅射法在医用钛合金Ti6Al4V表面制备Ti-Ag、Ti-Ag-N薄膜.采用扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线能量色散谱、X射线光电子能谱分析薄膜的表面形貌、微观结构、化学成分和化学...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 在自制的高密度聚乙烯(HDPE)膜上真空蒸镀氧化银(Ag2O)得到Ag2O/HDPE复合膜,考察该膜的抗菌性,并对奶酪进行包装,考察Ag2O/HDPE膜对奶酪的保鲜性.结果发现,Ag2O/H...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 对钛合金基体上的TiN薄膜进行了不同剂量N离子的注入.利用扫描电镜、X射线衍射对离子注入前后组织进行了分析,并进行了硬度、摩擦磨损实验.结果表明:N离子注入使膜层呈现非晶化趋势,并随剂量增大...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 利用磁控溅射法制备出不同成分的(VAl)1-xTaxN涂层,用X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜表征涂层微观结构,利用纳米压痕仪和摩擦磨损试验机测试了Ta含量对涂层的力学性能和摩擦磨损性能的...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 利用有限元分析法模拟计算硬质涂层Ti、TiN、TiCN和TiAlN在不同情况下所受应力状态分析.结果表明:涂层上所加载的应力越大,涂层内部残余应力越大,造成的涂层损坏也越严重;在同种基体合金...
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16. 电泳沉积法制备热子氧化铝绝缘层刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 基于Hamaker's law和静电场边界模型推导出考虑电场变化情况下沉积量与电泳条件的关系式,结合法拉第定律,使用溶液电流宏观地表征溶胶粒子沉积速率.分别改变电压和沉积时间进行电泳沉积实验...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 阴极热子组件是星载行波管的核心部件,其性能的好坏直接影响到整管的性能和寿命.由于星载行波管工作环境特殊,要求在保证阴极正常工作的前提下,尽可能地降低阴极热子组件的加热功率以提高阴极热子组件可...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 核磁共振(NMR)在诸多科学领域具有独特的优点,而微波推动的动态核极化(DNP)技术是NMR波谱学中一种重要的手段,可大大增强NMR方法的灵敏度,缩短信息获取时间.DNP-NMR在太赫兹科学...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 采用单阴极直线弧放电等离子体发生装置,通过测试放电电流对受激锂蒸气原子的670.78 nm光辐射强度的影响,研究了放电电流对蒸发量的影响,建立了蒸发实验模型.实验结果表明,通过控制放电电流,...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 使用OOPIC Pro粒子模拟软件仿真和再现了空心阴极类结构的初始放电过程,得到了初始放电过程不同时刻的电子和离子的相空间分布规律以及电势分布规律.研究结果表明:空心阴极类结构的初始放电过程...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 为了研究大气压射频介质阻挡辉光放电的时空特性,采用一个表面覆盖有石英介质的铜电极和一个自制水电极的放电系统,在氦气中获得了大面积和较大电极间距下的辉光放电.对ICCD高速相机拍摄的径向放电图...
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22. 真空平板玻璃封边气孔成因研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 针对真空平板玻璃封边封接层中易出现气孔缺陷的问题,采用真空熔接法侧边封接真空平板玻璃,利用EBSD、EDS方法分析了真空平板玻璃封接层的显微组织结构与物相组成,探究了真空平板玻璃封边气孔的形...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： 研究了爪式真空泵曲爪型爪式转子型线的构建过程;得出半径比和爪顶圆弧角是影响转子几何结构的重要参数,进而分析了这两个参数的变化对爪式转子几何结构和爪式真空泵工作性能的影响.针对现有爪式转子型线...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要： Kapton/Al薄膜二次表面镜是一种广泛应用的热控涂层,用于维持航天器表面正常的工作温度.本文利用激光源原子氧设备对Kapton/Al薄膜二次表面镜进行了原子氧与紫外综合辐照试验,试验前后...
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25. 《真空科学与技术学报》征稿说明刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年6期页码:摘要：
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
真空科学与技术学报统计分析
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