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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
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真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
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年度刊次
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  • 1. Cu含量对NbCN-Cu复合膜微结构、力学性能及摩擦磨损性能的影响
    作者： 喻利花 孙晨 许俊华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  377-384
    摘要： 利用高真空磁控溅射仪制备了不同Cu含量的NbCN-Cu复合膜.采用X射线光电子能谱、X射线衍射仪、纳米压痕仪、扫描电镜、三维形貌仪和摩擦磨损仪对薄膜的微观结构、力学性能以及摩擦磨损性能进行了...
  • 2. 不同周期膜系结构对1064nm高反膜的激光损伤阈值的影响
    作者： 徐均琪 杨利红 苏俊宏 葛锦蔓 陈磊
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  385-390
    摘要： 基频高反膜元件由于较易受到激光损伤而严重影响激光系统正常工作,因此研究高反膜的激光损伤原因及损伤机理成为一个急需解决的问题.本文搭建激光损伤阈值测试平台,对不同周期膜系结构的1064 nm激...
  • 3. 溅射气压对铟锡锌氧化物薄膜晶体管性能的影响
    作者： 刘媛媛 宋淑梅 李延辉 杨田林 赵继凤 辛艳青
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  391-396
    摘要： 利用射频磁控溅射技术,在不同溅射气压下制备了铟锡锌氧化物薄膜晶体管(ITZO TFT),分析了ITZO TFT电学性能随气压的变化规律.研究结果表明:非晶ITZO TFT的工作模式均为耗尽型...
  • 4. 铟镓锌氧化物薄膜晶体管制备及性能研究
    作者： 姚礼 李广录 杨旭 毛荷英 焦峰 王海宏 马群刚 黄雪峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  397-401
    摘要： 为了实现高质量刻蚀阻挡型InGaZnO薄膜晶体管(IGZO TFT)器件,研究了IGZO TFT关键制备工艺,其中重点探讨了IGZO成膜氧分压、退火工艺、IGZO成膜均一性对于IGZO TF...
  • 5. 耦合系数和束流强度对驻波加速器性能的影响和耦合系数的测量
    作者： 丁耀根 张永清 晏青山 杜锡九 王小霞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  402-406
    摘要： 根据加速器和微波谐振腔的基本理论,采用微波电路理论,分析和计算了驻波加速器输入波导和加速腔之间的耦合系数和束流强度对能量、束流功率、效率和X射线辐射强度等性能的影响.当耦合系数大于1时,随着...
  • 6. 一种宽带大功率同轴窗研究
    作者： 徐立 朱小芳 李斌 胡权 胡玉禄
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  407-412
    摘要： 针对半波长同轴窗与同轴陶瓷行波窗存在的带宽窄、功率容量低的局限,本文提出了一种宽带大功率同轴窗结构,并给出了其设计原理.利用HFSS与CST Microwave Studio优化设计了L波段...
  • 7. Ag含量对CrN/Ag薄膜微结构、力学及摩擦磨损性能的影响
    作者： 叶刚 喻利花 许俊华 鞠洪博
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  413-417
    摘要： 通过反应磁控溅射法分别沉积了不同Ag含量(Ag/(Ag+ Cr) =2.9 ～21.2％(原子比))的CrN/Ag复合膜,采用能谱仪、X射线衍射仪、纳米压痕仪、扫描电镜、摩擦磨损仪等研究了C...
  • 8. 偏压对Cr-Si-N涂层的结构与性能的影响
    作者： 李沛 王恩青 葛芳芳 贾丛丛 鲁晓刚 黄峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  418-424
    摘要： Cr-Si-N涂层具有较高的硬度,良好的耐磨损抗氧化功能.本文采用磁控溅射沉积方法,以偏压为变量,在三种基片上制备Cr-Si-N涂层.本研究采用X射线衍射仪和扫描型电子显微镜表征偏压对Cr-...
  • 9. 疏解棉秆微波真空干燥特性及动力学模型
    作者： 姜文利 李鹏 王红提 郭康权
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  425-431
    摘要： 疏解棉秆在进行重组材之前,要进行干燥处理.本研究以疏解棉秆为研究对象,探讨了疏解棉秆在不同微波功率密度(8,10,13,20W/g)和不同相对压力(0,-20,-40,-60,-80 kPa...
  • 10. 涡轮分子泵抽气性能计算的误差分析
    作者： 巴德纯 张磊 王晓冬 蒋婷婷 陶继忠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  432-435
    摘要： 采用数据回归方法,建立了不同叶片倾角、节弦比条件下单级涡轮叶片正反向传输几率与速度比的数学关系式,通过计算机编程可直接获得单级涡轮叶片的正反向传输几率,进而求出涡轮叶片的抽气性能,提高了计算...
  • 11. 以铝铁合金为还原剂的真空热还原炼镁实验研究
    作者： 刘珂佳 尤晶 王耀武 邓信忠
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  436-441
    摘要： 在铝电解生产金属铝过程中会产生部分的铝铁合金固体废弃物,该铝铁合金尚未得到很好的利用.本文对以煅后白云石为原料,以铝电解过程中产生的铝铁合金为还原剂的真空热还原炼镁过程进行了研究.通过对铝铁...
  • 12. 磷铁真空蒸馏行为分析研究
    作者： 朱晓辉 李秋霞 熊恒 白倩 荆碧
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  442-446
    摘要： 为了了解磷铁在真空蒸馏过程中的物相变化规律,本文通过热力学计算,得到磷铁在压力为10～ 105 Pa下的化学反应吉布斯自由能和分解反应温度的关系.计算表明磷铁的分解反应主要分三个阶段:(12...
  • 13. HL-2A托卡马克等离子体的扭曲不稳定性研究
    作者： 何宏达 沈勇 董家齐
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  447-453
    摘要： 扭曲模是托卡马克等离子体中一种常见的磁流体力学不稳定性.而安全因子(g)和比压(β)对扭曲模的产生、发展以及稳定化有着重要的、甚至是决定性的影响.本文从实验与模拟相结合的角度,基于HL-2A...
  • 14. Co源辐照对聚乙烯电缆护套材料真空出气性能影响
    作者： 于钱 周晶晶 姜海富 杨东升 武博涵 臧卫国 院小雪
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  454-458
    摘要： 材料真空出气性能是卫星设计选材时的一个重要依据,辐照是对材料出气性能影响较为严重的一种空间环境因素.本文对Co源辐照(1.2×109 rad,si)前后的材料样品,进行100及125℃条件下...
  • 15. 淬态非晶FeSiB薄带的各向异性及其巨磁阻抗效应
    作者： 朱雨晴 许佳丽 谢佳文 邵先亦 钟彬荃 陈卫平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  459-464
    摘要： 采用单辊快淬法制备了Fe78Si9B13非晶薄带.磁阻抗测试显示,淬态非晶FeSiB合金薄带具有显著的巨磁阻抗效应(GMI),在7 MHz频率下,纵横向最大阻抗比分别达到30％和29％.磁畴...
  • 16. ZrB2-SiC超高温陶瓷非晶钎焊界面组织与力学性能研究
    作者： 何汝杰 王刚 王国超 黄仲佳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  465-470
    摘要： 采用Cu39.37Ti32.19Zr19.38Ni9.06(原子比)非晶态钎料对ZrB2-SiC超高温陶瓷进行钎焊.通过X射线衍射、扫描电镜、万能试验机对钎料的微观结构以及钎焊接头形貌、析出...
  • 17. 高真空环境下高速深沟球轴承润滑性能分析
    作者： 付康 倪磊 向北平 陈磊
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  471-476
    摘要： 理论研究和工程实际表明,微小型高速深沟球轴承的润滑状态不仅影响其承载能力和可靠性,而且决定着分子泵的工作性能.本文针对微小型高速深沟球轴承这一特殊轴承在高速轻载条件下进行弹流润滑数值分析,求...
  • 18. Al0.26Ga0.74As/GaAs(001)表面形貌的热力学分析
    作者： 刘健 周勋 周海月 王一 王继红 罗子江 赵振 郭祥 魏文喆
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  477-481
    摘要： 采用分子束外延(MBE)技术在GaAs衬底上生长Al0.26Ga0.74As外延层,并在相同的退火条件下,分别退火0,10,20,40 min.利用扫描隧道显微镜对不同退火时间下Al0.26...
  • 19. 空间近紫外辐照聚酰亚胺薄膜力学性能演化机理
    作者： 丁义刚 刘业楠 沈自才 牟永强 王志浩 白羽 高鸿
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  482-487
    摘要： 空间近紫外辐射环境可造成航天器用聚酰亚胺(PI)薄膜力学性能将发生变化.本文利用空间综合辐照地面模拟试验装置和热重分析、X射线光电子能谱(XPS)分析等微观测试对空间近紫外辐射环境下均苯型P...
  • 20. 193 nm准分子激光器激光整形微透镜阵列压缩模塑成型工艺参数研究
    作者： 冷雁冰 吴博琦 孙艳军 王丽 董连和
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  488-492
    摘要： 为了实现193 nm准分子激光器激光整形及均匀化,制作一种微透镜阵列光学元件.本文采用L933多因子正交方法进行实验,获得3因子3水平下压缩模塑成型的微透镜阵列.通过Taylor Hobso...
  • 21. 单辊旋淬Cu-2.8Ni-0.7Si合金的时效性能研究
    作者： 刘利盟 张蔚冉 耿桂宏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  493-497
    摘要： 通过单辊旋淬快速凝固技术得到Cu-2.8Ni-0.7Si(质量比)合金薄带,研究时效对快速凝固合金的导电率、显微硬度、拉伸强度的影响.经单辊旋淬得到的合金晶粒细小、组织均匀、无偏析.在400...
  • 22. 《真空科学与技术学报》征稿说明
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2016年4期
    页码:  后插1
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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