真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
文章浏览
目录
  • 作者: 屠彦 戴凯 杨兰兰 汪俊鑫
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  849-855
    摘要: MgO薄膜被认为是等离子体显示器件中介质保护膜的最理想材料.本文基于第一性原理的密度泛函理论,结合格林函数G和动力学屏蔽库仑相互作用W纠正和Bethe-Salpeter方程的求解,研究了Mg...
  • 作者: 刘忠伟 国政 杨丽珍 桑利军 王安玲 田旭 郭群
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  856-861
    摘要: 微电子领域中的铜互连工艺需要沉积一层连续且保形好的铜籽晶层,随着集成电路中特征尺寸的减小及沟槽深宽比的增加,传统的热沉积工艺难以满足其将来的制作要求.本文介绍了使用新的强还原剂前驱体沉积铜金...
  • 作者: 刘贤哲 姚日晖 曾勇 朱峰 胡诗犇 蔡炜 郑泽科 陈建秋 陶瑞强
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  862-865
    摘要: 采用电子束蒸镀在ITO上沉积HfO2,研究了不同退火工艺对其电学性能的影响.当450℃时O2退火,HfO2的漏电迅速增加,通过X射线衍射发现HfO2有单斜相等结晶生成.450℃下N2退火,H...
  • 作者: 付远 张友亮 王德 王明生 谢玉江 郭炜
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  866-872
    摘要: 采用高温真空粉末熔覆工艺在镍基高温合金表面制备了Cr改善的NiCr-Cr3C2复合涂层,涂层与基体形成冶金结合.通过添加不同含量(0%,10%,20%,30%(质量分数))的Cr粉末,研究了...
  • 作者: 刘小萍 吴泓均 李灿 郑强 鲍明东
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  873-879
    摘要: 用等离子喷涂方法分别制备纯Cr2O3以及添加金刚石微粉的Cr2O3/C复合涂层,并比较分析了复合涂层的微观结构、力学和摩擦学性能.采用光学显微镜和扫描电镜分析涂层微观结构;用阿基米德原理计算...
  • 作者: 吴孔强 唐华 李长生 王瑜琦 黄虹
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  880-885
    摘要: 通过喷涂制备了环氧树脂/二硫化钼纳米复合涂层,并使用聚四氟蜡粉末改善了复合涂层的疏水性能及摩擦学性能.探讨了聚四氟蜡填料的含量对纳米复合涂层的疏水性能及摩擦学性能的影响.同时改变摩擦条件,研...
  • 作者: 宋沂泽 彭凯 王成磊 高原
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  886-890
    摘要: 采用多弧离子镀技术,在4Cr13钢表面沉积CrN,并掺杂不同的Mo含量,形成CrMoN复合薄膜.研究不同Mo含量对CrMoN薄膜摩擦磨损性能的影响.通过扫描电镜、X射线衍射、显微硬度计、高速...
  • 作者: 孔令轩 郭德洲 顾左
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  891-897
    摘要: 为了对LIPS-100离子推力器栅极优化设计提出合理建议,利用结构动力学计算模型开展栅极力学特性分析,研究8.6 grms随机振动和800 g加速度冲击力学环境对栅极的影响.采用ABAQUS...
  • 作者: 詹泽红 赵建钢 郭颖
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  898-905
    摘要: 使用朗缪尔双探针诊断方法,研究了圆孔刻槽极板和极性电极(相位差△φ=00和Δφ=180°)在不同条件下对13.56 MHz容性耦合等离子体均匀性的影响.同时提到了点亮问题对等离子体分布的影响...
  • 作者: 付秋明 张田田 汪建华 王传新 马志斌 黄宏伟
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  906-909
    摘要: 通过将两个波导耦合反应腔串联,得到了具有线形结构的微波等离子体源.利用光纤光谱仪沿等离子体轴向测量不同位置的等离子体发射光谱,对等离子体中不同基团的发射光谱强度进行了比较分析,研究了反应腔结...
  • 作者: 吴尽 唐恩凌 夏瑾 张爽 张立佼 王猛 袁健飞 许名扬 韩雅菲
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  910-916
    摘要: 为理解和评估超高速碰撞产生等离子体及其对航天器逻辑芯片的电磁干扰效应,进行二级轻气炮强冲击加载实验模拟超高速撞击;利用郎缪尔三探针诊断系统对弹丸撞击2A12铝板产生等离子体的电子温度和电子密...
  • 作者: 刘大春 戴永年 杨斌 熊恒 董朝望 邓勇 陈秀敏 龙萍
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  917-922
    摘要: 主要从实验角度研究了脆硫铅锑矿精矿的基本挥发规律,探讨了主要元素Sb,Pb,Zn,Fe在真空蒸馏过程中在残留物中及挥发物中的分配情况.实验结果表明:593 K时脆硫铅锑矿精矿开始挥发,593...
  • 作者: 卢勇 吴春晗 李紫勇 杨斌 赵群 郁青春 陈秀敏
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  923-928
    摘要: 采用热力学计算和动力学模拟以及X射线衍射,扫描电镜的检测手段,对AlN真空条件下的氯化歧化反应进行了研究.热力学计算结果表明:系统压力在10~100 Pa时,AlN的氯化反应起始温度为142...
  • 作者: 刘大春 卢勇 徐宝强 李高峰 杨斌 王家驹 董朝望 郁青春 陈秀敏
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  929-934
    摘要: 为了研究氮化铝真空热分解反应机理,对该反应进行真空条件下热力学计算,结果表明反应在1960 ~ 2360 K,60Pa的条件下可以进行.利用基于密度泛函框架下的第一性原理平面波赝势法,对氮化...
  • 作者: 吴亦农 孟闯 张安阔 郭志鹏 阚安康
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  935-940
    摘要: 真空绝热板(VIPs)等效导热主要表现为芯层材料导热、稀薄气体等效导热和热辐射等效导热等,综合多孔介质芯材结构、板内真空度等因素,建立了VIPs等效导热系数预测数值模型,理论分析了真空度和V...
  • 作者: 喻新发 孙立臣 孟冬辉 张春元 张海峰 王健 邵容平 闫荣鑫 陈金明
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  941-944
    摘要: 真空检漏技术广泛应用于航天、航空、核工业等军工行业的密封产品测试,近些年,无油真空泵逐步代替了油封式机械泵作为检漏系统的前级泵.无油泵作为前级泵具有清洁无油的优点,但实践中经常出现检漏系统本...
  • 作者: 何新智 李德才 王四棋 王虎军
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  945-949
    摘要: 在磁流体液体动密封过程中,转轴的旋转引起磁流体与被密封液体的相对运动,在液-液界面处产生剪切力,使界面出现不稳定现象,易导致磁流体密封耐压能力下降.为进一步研究转轴转速对磁流体液体动密封耐压...
  • 作者: 李建清 李斌 胡权 胡玉禄 陈文龙 黄桃
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  950-954
    摘要: 根据微波管电子光学系统有限元数值分析的特点,介绍了微波管电子光学系统有限元网格自适应的后验误差估计方法和网格自适应加密策略,并成功地在微波管模拟器套装电子光学模拟器中实现了网格自适应技术.以...
  • 作者: 吕平
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  955-961
    摘要: 干冰微粒喷射技术是近三十年来逐渐发展起来的一种新型表面处理技术,多用于精细表面的清洗和抛光.本文综述了干冰微粒喷射技术的发展历程、原理、设备构成、技术参数和应用领域,重点对干冰微粒的凝结与碰...
  • 作者: 傅兴华 周章渝 王松 肖寒 闫江
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  962-967
    摘要: 通过热力学计算B-MgB2体系中可能发生化学反应的标准吉布斯自由能变化值(△rGθr)随温度变化的关系,对其体系的热稳定性进行了探讨.综合应用X射线衍射、标准四线法和扫描电子显微镜对在氩气气...
  • 作者:
    发表期刊: 2016年8期
    页码:  后插1
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊