真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 孙立新 张明路 徐子寒 徐良君 董鹏 贾计东
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  357-362
    摘要: 针对负压吸附式擦玻璃机器人(WCR),提出在泄漏条件下的负压腔(NPC)流体模型建立方法,并进行仿真分析和实验验证.对擦玻璃机器人进行静力学分析,得到机器人安全吸附在玻璃表面的负压值;由于负...
  • 作者: 刘燕文 孟鸣凤 朱虹 李芬 田宏 谷兵 赵丽
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  363-368
    摘要: 固体材料在大气中会溶解、吸附一些气体,当材料置于真空环境下,就会因气体解溶、解吸、电子轰击等而发生放气.电真空微波器件广泛应用于加速器、卫星通信、可控热核聚变、全球定位及未来军事前沿的高功率...
  • 作者: 王鹏 范洪明 颜岩
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  369-371
    摘要: 对AP1000核电厂脱气塔真空泵,在不同工况下的电流特性进行了试验研究.分析了泵的背压,泵抽取的气体流量,泵抽取气体的种类对泵的运行电流的影响.结果表明泵的背压越高泵的运行电流越大,并且存在...
  • 作者: 唐彦娜 彭澍源 李实 罗积润
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  372-379
    摘要: 目前回旋放大器的稳定性分析主要采用单模理论,而该理论不能分析模式间的相互影响.多模稳态理论可以分析不同模式间的相互影响,现有的多模理论仅可以分析光滑波导或内壁加载石墨涂层的波导结构,该结构并...
  • 作者: 吴胜利 王洪广 田进寿 胡文波 谭孝青
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  380-385
    摘要: 采用三维电磁分析软件CST对盒栅式电子倍增器结构进行建模,利用控制变量的分析方法修改模型参数,模拟计算了不同打拿极栅网结构参数和出射电子能量条件下电子倍增器内部的电场分布、电子运动轨迹以及倍...
  • 作者: 尚新文 王刚 胡波雄 苏小保 虞崇志
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  386-393
    摘要: 基于ADS软件设计并加工了一款2~6 GHz的超宽带线性化器.实测结果表明,该线性化器在2,4和6 GHz这三个频点分别既可提供约9.5 dB和55°,8.3 dB和55°,8.8 dB和7...
  • 作者: 张晶 杨洁 王现彬 赵正平
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  394-399
    摘要: 综合镓极性(Ga-polar)和氮极性(N-polar)GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)上的欧姆接触特性,提出了一种混合极性的GaN基HEMT结构.通过自洽求解薛定谔方程和泊松方程,分...
  • 作者: 刘丹丹 史成武 李学留 梁齐
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  400-408
    摘要: 利用射频磁控溅射法并经快速退火处理制备Cu2SnS3薄膜,研究了使用SnS2、Cu2S混合靶(摩尔比分别为1∶1、1∶1.5、1∶2)及在不同溅射功率(40和80W)条件下所制备Cu2SnS...
  • 作者: 丁罗城 王春安 秦盈星 符斯列
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  409-413
    摘要: 氢在GaN薄膜制备工艺中扮演很重要的角色,氢主要有两个来源,一是载气氢,另一个来源是从TMG气源本身离解出来的氢产物.本文研究了电子回旋共振-等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)沉...
  • 作者: 夏喻 李卫国 杨亚奇 袁创业 陈艳
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  414-417
    摘要: 为研究低气压下长间隙放电等离子体通道外部特征,利用试验平台对100 Pa下800 mm棒-板间隙交、直流放电进行观测,并对放电通道发展过程及其外部特征进行研究.研究结果表明:50 Hz交流和...
  • 作者: 何兆 刘纯亮 张小宁 梁志虎
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  418-423
    摘要: 在厚度为100 μm的铝基底上,制作了一种由隙缝相连的六边形共面微腔阵列,研究了方波驱动下,该微腔阵列在氖气中的放电发光分布与气压的关系,光谱分布及放电的演变过程.结果表明:这种隙缝相连的六...
  • 作者: 万亚鹏 罗成 蒙峻 谢文君
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  424-429
    摘要: 针对薄壁真空室的使用特点,首先利用ANSYS有限元软件进行结构优化设计.其次通过理论计算和数值模拟相结合的方法计算出真空室烘烤功率,并给出在达到热平衡后真空室的温度分布规律.此外采用间接耦合...
  • 作者: 徐斌 杜敬平 楼白杨 赵杰
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  430-436
    摘要: 镁基材料表面进行微弧氧化处理(MAO)制备的多孔结构的陶瓷涂层在干摩擦环境下的摩擦系数较高,本文采用微弧氧化结合非平衡磁控溅射技术在纯镁基体表面制备出了MAO/CrN复合涂层.通过扫描电镜、...
  • 作者: 周琦 张德库 李文东 王克鸿 程阿苗
    发表期刊: 2017年4期
    页码:  437-441
    摘要: 为了提高雷达天线组件的成品率,采用钎焊和钎焊-扩散焊复合连接的方法,对3A21铝合金多层结构进行了焊接试验研究.通过扫描电镜、能谱和X射线衍射对接头组织形貌及成分进行了分析.结果表明:与钎焊...
  • 作者: 冯慧华 林志民 汪荣顺 王健 邵雪峰
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  443-448
    摘要: 高真空多层绝热因其超好的绝热性能而广泛的应用于低温容器,但其夹层真空度会随着材料的放气而逐渐降低,放气的主要成分是氢气.为此,本文设计实验平台,研究了Polymer吸氢剂的吸附特性.根据BD...
  • 作者: 冯慧华 林志民 汪荣顺 王健 邵雪峰
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  449-454
    摘要: 高真空多层绝热因其超好的绝热性能而广泛的应用于低温储罐,但其夹层真空度会随着材料的放气而逐渐降低,放气的主要成分是氢气.本文设计了实验平台,研究了国产银分子筛(NewGetter)和复合金属...
  • 作者: 关玉明 冀承林 刘慧娟 刘琴 燕唐
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  455-459
    摘要: 动力锂离子电池注液封装生产过程中,人工操作引起的二次污染是影响电池性能的主要因素,在满足电池生产环境的要求下对电池生产工艺进行了分析,引入了过渡仓的结构设计,提出一套全自动真空连续注液封装系...
  • 作者: 张国玉 林景殿 苏中地
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  460-465
    摘要: 采用计算流体动力学数值模拟软件PumpLinx对口径为50 mm的气体罗茨流量计进行数值模拟研究,考察分析了四种不同流量下气体罗茨流量计内部的压力和速度分布情况.将数值模拟得到的压损值与实验...
  • 作者: 余耀伟 沈国清 胡建生
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  466-470
    摘要: 介绍了一套可用于定量分析EAST托卡马克排灰气所需要的差分抽气测量系统的设计和搭建,在测试过程中该系统可以在10-3~105 Pa范围内正常工作;利用该系统研究了EAST排灰气的气体成分,结...
  • 作者: 夏清 廖学军 徐友良 梅庆 郭天才
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  471-474
    摘要: 本文针对传统真空浇注成型机制作光弹性模型时存在一次成功率低,模型内部存在较大初应力,影响光弹性试验精度等问题,提出并研制了一种新型航空发动机真空浇注成型机.与传统设备比较,新设备有以下特征:...
  • 作者: 张波 方志 朱颖
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  475-483
    摘要: 针对低温等离子体处理人体皮肤和组织等生物医学应用中开发人体可接触低温等离子体源的需求,本文设计了一种灵活的悬浮电极结构的介质阻挡放电低温等离子体发生装置,来在空气中产生人体可接触的低温等离子...
  • 作者: 刘智民 李京勇 胡纯栋 谢亚红 陈俞钱 顾玉明
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  484-487
    摘要: 射频离子源具有的复杂电磁环境会干扰甚至使得朗缪尔单探针无法准确获得等离子体参数.双探针具有对等离子体的干扰较小,不需要参考电位等优点,因此更加适用于射频离子源下的等离子体诊断.为了使得朗缪尔...
  • 作者: 丁康俊 任昱霖 宋修曦 马志斌 黄宏伟
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  488-493
    摘要: 在传统的波导耦合微波等离子体化学气相沉积装置中引入双基片结构,测量了金刚石沉积过程中的等离子体发射光谱,通过与单基片结构对比,比较研究了双基片对微波等离子体参数的影响.研究表明:在相同金刚石...
  • 作者: 俞迎丹 翟敬宇 陈玉刚 韩清凯
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  494-498
    摘要: 在机械性能中,弹性模量对于涂层的功能寿命长短有很大的影响,准确地获取涂层的弹性模量是研究涂层的前提.本文针对涂层的微观形貌特征,提出了一种有效的弹性模量的计算方法.首先通过分析研究其扫描电镜...
  • 作者: 曾群锋 董光能 黄双刚
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  499-504
    摘要: 采用高温真空烧结法在高速钢基体表面上制备了纳米氧化镧掺杂二硅化钼基复合涂层;考察了温度(200~800℃)、纳米La2O3含量(1%、3%和5%)(质量比)对MoSi2基复合涂层高温摩擦学性...
  • 作者: 孙作斌 王明军 袁磊 龙浩
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  505-509
    摘要: 为减少发光量子阱区的缺陷,缓解量子阱区的应力,减小极化效应,提高量子阱结晶质量,本文将n-AlInGaN作为非对称电荷谐振隧道(CART)层即电子缓冲层中的量子势垒应用于GaN基LED中,以...
  • 作者: 李金磊 樊宇 罗积润
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  510-518
    摘要: 传统场论的分析方法在交错双栅高频特性的分析中会带来繁琐的运算,等效电路法却可以大大简化分析步骤.本文在详细分析结构场特性的基础上,讨论了交错双栅慢波结构等效电路的等效原理以及构造方法,给出了...
  • 作者: 刘彦峰 李昌烽 李磊削 王韫宇
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  519-526
    摘要: 本研究以高比表面积的导电添加剂为基体材料,通过原子层沉积(ALD)法生长氧化铝纳米薄膜,制备改性高比表面积的导电添加剂.采用扫描电镜及透射电镜对包覆改性前后导电剂的形貌进行表征,发现采用AL...
  • 作者: 刘晓勇 施凯娟 邹志强
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  527-532
    摘要: 采用分子束外延法在250~700℃的Ge(111)衬底表面生长出铁的锗化物纳米结构,原位扫描隧道显微镜观察表明,在300℃以下,Ge(111)衬底上生长的铁锗化合物以三维岛的形式存在,高于此...
  • 作者: 巴德纯 王晓冬 韩杰
    发表期刊: 2017年5期
    页码:  533-537
    摘要: 对某钢厂180 t RH 真空精炼装置浸渍管结构改造并增加底吹氩气功能,通过数值方法对新型侧底复吹真空精炼装置内气液两相循环流动进行了模拟,并与实验数据进行了比较.结果表明:数值模拟所得到循...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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