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19905

真空科学与技术学报

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Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

曾用名：真空科学与技术

CA CSCD JST CSTPCD

影响因子 0.3586

本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

主办单位：

中国真空学会

ISSN：

1672-7126

CN：

11-5177/TB

出版周期：

月刊

邮编：

100022

地址：

北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

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热门刊内文献

年度刊次

1. 复杂组织器官低温保存研究进展

作者：韩恒鑫胥义刘宝林

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 1-13

摘要：近年来,器官移植术以及相关基础研究的快速发展对复杂组织器官的高质量保存提出了迫切需求.供体组织器官的缺乏以及供体和受体在时间和空间上的不匹配限制了其在临床上的应用,低温保存有望解决这一限制....
2. 热阴极电离规灵敏度的数值模拟研究

作者：魏建平李得天张虎忠成永军姚鹏马卓娅葛金国

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 14-19

摘要：本文基于数值模拟和实验方法研究热阴极电离规的计量性能,开展了电极电压和栅网结构对Bayard-Alpert电离规灵敏度的影响研究.研究表明,随着阴极阳极电压差从50 V增加到140 V,灵敏...
3. 低气压下占空比对细长管空心阴极辉光放电电流的影响

作者：高凯晨孔维星巩春志田修波

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 20-25

摘要：为了在细长管内壁获得性能良好质地均匀的膜层,本文在低气压条件下、采用细长管作真空阴极进行空心阴极辉光等离子体放电.通过研究对多种气氛(纯Ar、纯N2、氮气氩气混合)下平均电流、电流峰值的实时...
4. 涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进

作者：匡永麟王晓冬黄海龙张鹏飞

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 26-30

摘要：涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得.本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面...
5. 空心玻璃微珠内部残余气体分析

作者：常仁超毕海林吴俊王旭迪彭小波

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 31-36

摘要：空心玻璃微珠在航空航天、军工等领域有广泛应用,其内部残余气体压强及成分对传热等性能有重要影响,目前国内外还没有残余气体分析相关报道.针对空心玻璃微珠内部压强未知、尺寸小、数量多等特点,设计了...
6. 直流磁控溅射膜厚分布实测与数值模拟研究

作者：王誉张茂彩辛博崔红兵娄树普

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 37-45

摘要：基于直流磁控溅射的基本原理,通过对小圆形磁控溅射平面靶的特点分析,建立了磁控溅射系统的几何模型,推导出了膜厚分布的数学理论模型.借助MATLAB数学软件,计算了不同靶基距下膜厚分布的理论数据...
7. 真空镀膜法制备纳米铝颗粒膜及其表面等离激元共振特性研究

作者：赵世奇郝宏亮巩燕龙吴俊褚向前刘月豹方应翠

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 46-54

摘要：采用直流磁控溅射镀膜技术制备了纳米铝颗粒膜,并尝试通过两种方式获得纳米铝的表面等离激元共振吸收峰,一种是先在室温石英基底上沉积纳米铝,再进行真空退火;另一种是在热石英基底上沉积纳米铝.用透射...
8. SiC颗粒增强镁基复合材料界面稳定性的第一性原理计算

作者：周乐章薄文杰李紫阳耿桂宏王月

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 55-59

摘要：针对SiC颗粒增强镁基复合材料界面的理论研究较少,大多研究仅停留在表征层面等问题.本文采用第一性原理方法,计算了四种不同SiC (0001)/Mg (0001)界面模型的电荷密度、布局分析和...
9. 陶瓷空心球/镁合金复合多孔材料制备及压缩性能

作者：陈靖鹤刘培生王耀奇宋帅侯红亮

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 60-68

摘要：本文选用两种不同的陶瓷空心球(商购氧化铝空心球和自制含硅复合氧化物陶瓷空心球)作为增强体,采用粉末烧结的方式在烧结温度600C、保温时间3 h 20 min的烧结条件下,成功制备出两种轻质、...
10. 内导体倾斜对同轴回旋管高频特性及欧姆损耗分布影响的研究

作者：覃觅觅梁转转谭光兴张玉薇叶金才高喜王国富

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 69-74

摘要：论文研究了内导体微小倾斜对品质因数Q值、谐振频率、电子效率以及欧姆损耗密度的影响,并分析了一支170 GHz兆瓦级同轴回旋管.结果表明,品质因数Q值随倾斜角θ增大而略微降低.在0°-0.5...
11. 不同气压下微间距气体放电特性分析

作者：李彦森孙岩洲王林华贾斌陈芸

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年1期

页码: 75-81

摘要：为了研究不同气压下微间距气体放电的过程,在1-100 kPa的可变气压环境下,在1-100 μm的电极间距范围内进行气体放电实验并对实验结果进行分析.在电极间距小于100μm,pd小于80 ...
12. 多尺度生命材料高压低温保存研究进展

作者：常铁卫思源安琪宋清雅张兵赵刚

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 83-93

摘要：低温环境能够延缓生物体内新陈代谢进而抑制一系列生化反应的发生与进行,是诸多生物样本得以长期储存的重要手段.近年来,低温保存技术的成功应用,已直接、有效地推动了细胞、组织、器官、药物、食品等诸...
13. EAST辉光放电清洗电极的升级及实验研究

作者：曹红梅余耀伟曹斌周德泽左桂忠胡建生

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 94-98

摘要：本文介绍了EAST装置辉光放电清洗电极的升级及实验研究.在常规的杆式辉光电极基础上,升级为具备主动水冷散热的板式电极,通过数值模拟和实验研究,证实新电极能满足辉光电流从3 A提升至6 A的散...
14. 基于PECVD方法制备的透明硅氧烷(SiOxCyHz)阻隔薄膜特性研究

作者：董茂进冯煜东韩仙虎蔡宇宏秦丽丽王毅王冠马凤英王济洲

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 99-103

摘要：柔性、透明的高阻隔性薄膜在有机太阳能薄膜电池、柔性有机发光二极管、电子纸和真空绝热板等领域都有需求.采用对电极辊结构的等离子体增强化学气相沉积方法,卷对卷的方式在聚酿(PET)基膜上,以硅醚...
15. 磁控溅射制备铝掺杂氮化铜薄膜的结构及光电性能研究

作者：崔馨予吴文静卢学良彭香伟肖剑荣

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 104-109

摘要：以高纯铜和铝为靶材,氮气和氩气分别为源气体和工作气体,采用双靶共溅射磁控技术在单晶硅和石英片上制备了铝掺杂氮化铜(Cu3N∶Al)薄膜.对Cu3N:Al薄膜的表面形貌、晶体结构、光透射性能和...
16. 干式螺杆真空泵转子成型加工及其刃形计算

作者：李丹童何志龙邢子文

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 110-117

摘要：干式螺杆真空泵转子的快速、高精度加工是提升整机性能与降低生产成本的关键技术.本文基于一种附加刀具垂直位置与倾角调节的螺杆转子成型机床结构,采用接触线法建立其刀具刃形求解的数学模型,分析转子初...
17. 基于平面域水平可视图的真空灭弧室静态绝缘优化设计与分析

作者：马士奇刘晓明陈海姜文涛李培源

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 118-124

摘要：采用平面域水平可视图电场复杂网络建网方法与遗传算法相结合的方法,进行真空灭弧室静态绝缘多目标优化.将一维时间序列水平可视图法拓展至二维电场域,以12 kV/1250A/31.5 kA真空灭弧...
18. 毫米波空间谐波磁控管效率探析

作者：黎深根李凤玲雷雪峰王冬冬

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 125-131

摘要：采用非π模空间谐波工作是磁控管往毫米波和太赫兹方向发展的有效实现手段,与同频率π模基波工作磁控管相比,空间谐波磁控管的谐振腔尺寸更大,磁场更低,但效率偏低.本文从单电子模型出发,分析了空间谐...
19. 双螺杆真空泵变截面锥形螺杆转子的构建与几何性能研究

作者：赵利壮赵玺皓王君沙润东王增丽耿茂飞

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 132-138

摘要：为提高等截面螺杆转子的内容积比,本文提出了一种新型变截面螺杆转子的构建方法,进而构建了变截面锥形螺杆转子.研究了几何参数对所提出的锥形螺杆转子性能的影响,并与传统的等截面螺杆转子进行对比.结...
20. 利用VOF模型模拟水环真空泵的气液两相流

作者：郑志富孟凡瑞赵国勇赵玉刚徐双李春霄

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 139-144

摘要：水环真空泵的气液两相流动非常复杂,利用相关流体机械理论很难准确描述其流动规律,一定程度上增加了水环真空泵新产品的设计研发难度.本文结合2BEA-703型水环真空泵,建立了水环真空泵的三维瞬态...
21. 基于FLUENT的真空干燥箱参数优化及仿真分析

作者：于洋贾智旗杨国锋任玉斌王关王强陈廷敏

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 145-150

摘要：针对目前真空干燥箱内温度分布不均匀的缺点,结合货物多孔介质理论,建立干燥箱三维模型.采用FLUENT对现有干燥箱内温度场进行数值模拟分析,获得了箱内温度场分布特性,使用k-ε模型以及SIMP...
22. 氮极性GaN/In0.17Al0.83N高电子迁移率晶体管材料机理与器件特性分析

作者：王现彬高彦彦周淑芬

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年2期

页码: 151-158

摘要：晶格匹配的氮极性(N-polar)GaN/In0.17Al0.83N异质结以其优异的材料与电特性受到了研究者的广泛关注.通过自洽求解薛定谔方程和泊松方程,结合准二维模型,模拟计算了 N-po...
23. 低温波荡器超高真空系统研制

作者：张磊陆辉华孙舒晨张祥镇孙亚军赵述涛李志强陈宛龚玲玲马永胜李啸宇李煜辉巩克云郭青黄永胜杨燕伟

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年3期

页码: 159-164

摘要：在高能辐射同步光源验证装置(HEPS-TF)阶段,研制了一台低温永磁波荡器(CPMU)样机,周期长度为13.5 mm.低温波荡器的磁结构放置在真空室中,存在大量的材料出气与夹气,为了提供束流...
24. 基于分子嵌入的电离质谱预测研究

作者：张宝杰夏卿陈鹏夏懿章军

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年3期

页码: 165-169

摘要：目前质谱技术被广泛应用于未知化合物成分分析.一种常见方式是将测得的待分析化合物质谱与现存质谱库中已有条目进行相似性计算.然而现有谱库存在覆盖性不足的问题:对于不存在于谱库中的化合物无法实现正...
25. 一种精确计算电离规灵敏度的模拟方法

作者：魏建平李得天成永军侯颖杰葛金国姚鹏张虎忠

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年3期

页码: 170-177

摘要：对电离规灵敏度进行模拟计算是预测和优化其性能的关键.提出了一种基于离散电子轨迹片段的离散化方法,用于精确计算理论灵敏度.将考虑边界条件变化的电离规工作过程的基本理论模型表示为由许多离散片段组...
26. 光束线超高真空阀多参数状态监测系统设计

作者：刘群徐帆汪啸陈留国贺博

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年3期

页码: 178-184

摘要：光束线良好的运行状态是用户正常实验和存储环安全运行的重要保障.为提高光束线的关键设备超高真空阀故障的诊断能力与运维水平,在合肥光源现有光束线控制系统的基础上,开展了超高真空阀门的状态监测研究...
27. 非贵金属多孔Mo2N纳米带催化剂的制备与电解析氢性能研究

作者：张雪茹彭昊董森宇汤利梅张勇吴玉程

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年3期

页码: 185-192

摘要：采用水热法和氮化法相结合的手段,在优化的实验条件下,获得了生长在导电碳纸上的多孔氮化钼(Mo2N)纳米带阵列.首先采用水热法在碳纸上原位合成了高密度的MoO3纳米带阵列.随后的氮化反应遵循固...
28. ADC-12再生铝合金稀土Y变质作用研究

作者：胡凯亮陈炜晔李弘怿耿桂宏

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年3期

页码: 193-200

摘要：本文研究稀土 Y不同含量对商用ADC-12再生铝合金的显微组织和力学性能的影响,样品通过真空感应熔炼钢模浇铸.实验证明:稀土Y对ADC-12再生铝合金显微组织和力学性能有良好促进作用.添加稀...
29. 载气中N2浓度影响介质阻挡放电离子化效率的数值模拟研究

作者：庞吉宏胡舜迪洪欢欢陈安琪闻路红王继业

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年3期

页码: 201-208

摘要：随着公共安全、食品安全检测领域对现场质谱检测需求的日益增加,介质阻挡放电离子源技术得到了较快的发展.其中的工作气体浓度通过影响介质阻挡放电的离子化效率从而对质谱检测信噪比产生较大作用.本文建...
30. 基于火花放电的抛物面槽式太阳能集热管环形空间气体压强与成分实验研究

作者：张博雷东强李晓张馨王志峰

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2022年3期

页码: 209-216

摘要：集热管的真空失效一直是抛物面槽式太阳能电站中存在的主要问题,其真空性能的优劣直接影响了整个系统的效率和经济性.本文提出一种新型基于火花放电和发射光谱法的便携式无损检测方法去评估集热管真空性能...

真空科学与技术学报基本信息

刊名	真空科学与技术学报	主编	吴锦雷
曾用名	真空科学与技术
主办单位	中国真空学会	主管单位	中国科学技术协会
出版周期	月刊	语种	chi
ISSN	1672-7126	CN	11-5177/TB
邮编	100022	电子邮箱	vst@chinesevacuum.com
电话	010-58206280	网址
地址	北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室