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化学汽相淀积
半导体
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期刊影响力
半导体杂志
主办单位：
电子部天津电子材料研究所
天津市电子学会
出版周期：
季刊
ISSN：
1005-3077
CN：
12-1134/TN
开本：
16开
出版地：
天津市河西区陈塘庄岩峰路
邮发代号：
创刊时间：
1976
语种：
chi
出版文献量（篇）
478
总下载数（次）
1
总被引数（次）
1404
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