NTD硅单晶及其实验结果

张丽珍

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NTD硅单晶及其实验结果

作者：

张丽珍

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硅单晶

NTD

中子嬗变掺杂

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文献信息

篇名	NTD硅单晶及其实验结果
来源期刊	电子工艺简讯	学科	工学
关键词	硅单晶 NTD 中子嬗变掺杂
年，卷（期）	1990,（9）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	4-6
页数	3页	分类号	TN304.12
字数		语种
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