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射频磁控反应溅射氧化硅薄膜微结构和电击穿场强研究
射频磁控反应溅射
表面形貌
电击穿场强
磁控反应溅射制备GexC1-x薄膜的特殊性分析
沉积速率
磁控反应溅射
靶中毒
原子百分比
一种高灵敏度氧化石墨烯气敏传感器的构造方法及性能研究
石墨烯
紫外光与臭氧法
气敏传感器
灵敏度
选择性
磁控反应溅射SnO2薄膜的气敏特性研究
电子技术
磁控反应溅射
二氧化锡薄膜
气敏特性
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 反应溅射法制成的氧化锡薄膜气敏元件制造参量与CO灵敏度之间的关系
来源期刊 电子 学科 工学
关键词 氧化锡 薄膜 气敏元件 反应溅射法
年,卷(期) 1991,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 40-41
页数 2页 分类号 TP212
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研究主题发展历程
节点文献
氧化锡
薄膜
气敏元件
反应溅射法
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子
双月刊
北京市23信箱22分箱
出版文献量(篇)
77
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