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模具钢表面连续激光沉积TiN类薄膜的研究
模具钢
激光化学气相沉积
薄膜
CVD法与PCVD法TiN薄膜研究
CVD法
PCVD法
薄膜
磁控反应溅射制备GexC1-x薄膜的特殊性分析
沉积速率
磁控反应溅射
靶中毒
原子百分比
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 TiN薄膜的非平衡双阴极磁控沉积
来源期刊 国外稀有金属动态 学科 工学
关键词 氮化钛 薄膜 磁控溅射沉积
年,卷(期) 1992,(22) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 4-5
页数 2页 分类号 TB43
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
氮化钛
薄膜
磁控溅射沉积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
有色与稀有金属国外动态
半月刊
北京市新街口外大街2号603室
出版文献量(篇)
498
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1
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