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射频磁控反应溅射
表面形貌
电击穿场强
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 射频反应溅射沉积透明导电CdIn2O4薄膜
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 沉积 CdIn2O4 薄膜 射频 溅射
年,卷(期) 1993,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 28-32
页数 5页 分类号 TN304.260
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研究主题发展历程
节点文献
沉积
CdIn2O4
薄膜
射频
溅射
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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