透明导电CdIn2O4薄膜的结构和Seebeck效应

• 作者: 付光宗 喻江涛 张勇 方亮 李丽 李明伟 杨丰帆
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 透明导电CdIn2O4薄膜 结构 Seebeck效应 温差电动势率
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 67-75
• 页数: 9页
• 分类号: O484.4
• 字数: 6258字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.015

摘要

在Ar和O2混合气氛中,利用直流反应磁控溅射Cd-In合金靶制备了CdIn2O4(简称CIO)薄膜,利用AFM和XRD技术表征了薄膜的形貌和组成,用XPS分析了薄膜的化学成分和元素价态,并在室温下测量了CIO薄膜的Seebeck效应以及加入磁场后的Seebeck效应.实验结果表明:CIO薄膜是多晶薄膜,其表面粗糙度为1.60～2.60nm,晶粒大小为13～36nm,晶界清晰.它由CIO相和In2O3相组成,部分样品还含有微量的CdO相,退火处理后氧缺乏状态和氧充足状态的面积比由退火前的0.69增加到0.71,薄膜的导电性能得到提高.CIO薄膜具有非常明显的Seebeck效应,温差电动势随温差的增加而线性增加,温差电动势率随着电阻的增加而减小;加入磁场后,薄膜的温差电动势率变小.文章对制备条件和结构的关系以及Seebeck效应和加入磁场后的Seebeck效应的机理作了详细探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付光宗	重庆大学应用物理系	7	51	4.0	7.0
2	杨丰帆	重庆大学应用物理系	6	25	3.0	4.0
4	方亮	重庆大学应用物理系	62	513	12.0	18.0
5	李明伟	重庆大学动力工程学院	50	363	10.0	16.0
6	张勇	重庆大学应用物理系	39	319	11.0	16.0
7	李丽	重庆大学应用物理系	27	426	12.0	20.0
8	喻江涛	重庆大学动力工程学院	10	93	6.0	9.0