论文降重
免费查重
推荐文章
磁控溅射镍膜及其性能的研究
磁控溅射
薄膜
Ni
磁控溅射沉积U薄膜性能研究
U薄膜
组织
结构
密度
磁控溅射Cr/C镀层耐热性能研究
磁控溅射
Cr/C镀层
热处理
耐热性能
磁控溅射镀铜木材单板导电性能和润湿性能
木材单板
磁控溅射
铜薄膜
方块电阻
导电性
润湿性
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 小会聚磁控溅射原子束源的性能研究 | ||
| 来源期刊 | 薄膜科学与技术 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 薄膜生长 磁控溅射 原子束源 | ||
| 年，卷（期） | bmkxyjs_1993,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 247-249 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | O484.1 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1993(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
薄膜生长
磁控溅射
原子束源
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
主办单位：
南京电子器件研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
南京1601信箱43分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
327
总下载数（次）
1
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
