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多晶硅微机械构件损伤的表面效应
微型机械
多晶硅
抗拉强度
表面粗糙度
表面分子自组装膜
大气环境下多晶硅薄膜的疲劳性能
微机电系统
多晶硅
薄膜
疲劳
多晶硅薄膜残余应力显微拉曼谱实验分析
拉曼谱
多晶硅
薄膜
残余应力
多晶硅微电子机械构件材料强度尺寸效应研究
微电子机械系统
弯曲强度
抗拉强度
尺寸效应
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 多晶硅微机械薄膜形成技术
来源期刊 电子工艺简讯 学科 工学
关键词 多晶硅 微机械薄膜 制备 应用
年,卷(期) 1993,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 2-3
页数 2页 分类号 TN304.055
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节点文献
多晶硅
微机械薄膜
制备
应用
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期刊影响力
电子工艺简讯
月刊
1004-7832
出版文献量(篇)
807
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