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钝化膜
等离子
刻蚀工艺
温度控制
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 刻蚀技术的进展
来源期刊 光机电世界 学科 工学
关键词 集成电路 刻蚀技术 发展
年,卷(期) 1994,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 17-20
页数 4页 分类号 TN405.98
字数 语种 中文
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1994(0)
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研究主题发展历程
节点文献
集成电路
刻蚀技术
发展
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期刊影响力
光机电世界
月刊
CN 22-1142/TH
长春市1024信箱
出版文献量(篇)
195
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