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开发窗口线圈靶型射频溅射装置的试制
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文献信息
| 篇名 | 开发窗口线圈靶型射频溅射装置的试制 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 线圈靶型 射频溅射装置 薄膜技术 | ||
| 年，卷（期） | 1997,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 11-14 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TB43 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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线圈靶型
射频溅射装置
薄膜技术
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期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
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开本：
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四川省成都市432信箱
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语种：
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864
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