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脉冲激光沉积系统(PLD)的应用——制备GaN薄膜
脉冲激光沉积系统
GaN材料
薄膜材料
沉积温度
沉积气压
室温下用脉冲激光沉积E-BN薄膜
E-BN薄膜
脉冲激光沉积
扫描电镜
红外吸收光谱
X射线衍射
脉冲激光沉积法制备VO_2热致变色薄膜研究进展
脉冲激光沉积
VO_2
薄膜
制备
掺杂
化学法制备光学薄膜及其应用
化学法
薄膜
应用
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 光学薄膜的脉冲激光沉积
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 光学薄膜 脉冲激光沉积 薄膜 PLD
年,卷(期) 1997,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-4
页数 4页 分类号 O484.1
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光学薄膜
脉冲激光沉积
薄膜
PLD
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