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氟原子参与的低压金刚石薄膜淀积条件
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摘要：
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含氮体系CVD低压金刚石薄膜淀积条件
金刚石
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人工晶体学报
主办单位：
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期：
月刊
ISSN：
1000-985X
CN：
11-2637/O7
开本：
16开
出版地：
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院，北京733信箱
邮发代号：
创刊时间：
1972
语种：
chi
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7423
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