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薄膜沉积中基片的清洗方法探讨
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摘要：
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基片温度对ZnO薄膜结构和发光性能的影响
ZnO薄膜
磁控溅射
基片温度
结构
光致发光
利用方形四探针技术测量硅基片薄膜电阻的研究
方形四探针
硅基片
薄膜电阻
测试技术
基片温度对Fe-N化合物薄膜制备及磁性能的影响
基片温度
Fe-N薄膜
晶粒取向
磁性能
沉积温度对ZnO薄膜波导的PLD生长影响的实验研究
脉冲激光沉积技术(PLD)
X射线衍射仪(XRD)
半高宽度(FWHM)
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期刊影响力
材料开发与应用
主办单位：
洛阳船舶材料研究所
中国造船工程学会船舶材料学术委员会
出版周期：
双月刊
ISSN：
1003-1545
CN：
41-1149/TB
开本：
大16开
出版地：
河南省洛阳市023信箱5分箱
邮发代号：
创刊时间：
1979
语种：
chi
出版文献量（篇）
2306
总下载数（次）
11
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