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用直流等离子体辅助CVD法大面积沉积金刚石厚膜
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文献信息
| 篇名 | 用直流等离子体辅助CVD法大面积沉积金刚石厚膜 | ||
| 来源期刊 | 国外难熔金属与硬质材料 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 金刚石厚膜 化学气相沉积 CVD | ||
| 年，卷（期） | gwnrjsyyzcl_2000,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 46-49 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TG174.444 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
金刚石厚膜
化学气相沉积
CVD
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研究来源
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相关学者/机构
期刊影响力
国外难熔金属与硬质材料
主办单位：
株洲硬质合金厂
出版周期：
半年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
湖南省株洲市钻石路21号信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
247
总下载数（次）
5
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