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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜形态生长的影响
掺硼金刚石
热丝CVD
扫描电子显微镜
拉曼光谱
热丝辐射距离与甲烷浓度对CVD金刚石薄膜的影响
金刚石薄膜
甲烷体积分数
热丝辐射距离
拉曼光谱
热丝化学气相沉积
基体梯度降温对钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响
热丝化学气相沉积
金刚石薄膜
Ti6Al4V
形核
TiC层
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 在甲烷—氢和氮混合物中用MPACVD沉积金刚石薄膜
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 甲烷 混合物 MPACVD沉积 金刚石薄膜
年,卷(期) 2000,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 6-8
页数 3页 分类号 O484.1
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研究主题发展历程
节点文献
甲烷
混合物
MPACVD沉积
金刚石薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
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期刊影响力
等离子体应用技术快报
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四川省成都市432信箱
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