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在甲烷—氢和氮混合物中用MPACVD沉积金刚石薄膜
在甲烷—氢和氮混合物中用MPACVD沉积金刚石薄膜
作者:
清波
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甲烷
氢
氮
混合物
MPACVD沉积
金刚石薄膜
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在甲烷—氢和氮混合物中用MPACVD沉积金刚石薄膜
来源期刊
等离子体应用技术快报
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物理学
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甲烷
氢
氮
混合物
MPACVD沉积
金刚石薄膜
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2000,(4)
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核工业西南物理研究院
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