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横机
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兔子
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薄膜
193nm
损伤形貌
激光损伤阈值
193nm准分子激光切削角膜的研究
准分子激光
角膜
消融
扫描算法
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 在全视场步进扫描曝光机上进行193nm光刻
来源期刊 电子工业专用设备 学科
关键词
年,卷(期) 2000,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 8
页数 9页 分类号
字数 6234字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-4507.2000.01.003
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
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31
总被引数(次)
10002
论文1v1指导