0.5μm分步光刻机关键参数测量与分析

• 作者: 田陆屏
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 0.5μm分步光刻机 参数测量 分辨率 照明均匀性 套刻精度 步进精度
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 论文·研制报告
• 页码范围: 10-14
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3638字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2000.02.002

摘要

主要对0.5μm分步光刻机的几个代表性参数即:投影镜头分辨率、照明均匀性、套刻精度、工作台步进精度、镜头畸变等引起误差的原因,测量和计算方法以及采取的相应措施作了一些归纳性总结,在解释问题的同时,也提出了相应的解决办法,为下一代光刻机的研制打下一定的基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田陆屏		1	3	1.0	1.0