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补偿光学光刻工艺特性产生的场内套准误差
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摘要：
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一种新型陶瓷机械喷刻工艺与传统手工雕刻工艺的比较
传统手工雕刻
新型陶瓷喷刻
工艺
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电子工业专用设备
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
邮发代号：
创刊时间：
1971
语种：
chi
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
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10002
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