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摘要:
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直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究
直流电弧等离子喷射
CVD
自支撑金刚石厚膜
磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 大面积金刚石膜沉积过程中的热应力分析
来源期刊 北京科技大学学报 学科
关键词
年,卷(期) 2000,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 153
页数 6页 分类号
字数 2753字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1001-053X.2000.02.016
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相关学者/机构
期刊影响力
工程科学学报
月刊
2095-9389
10-1297/TF
大16开
北京海淀区学院路30号
1955
chi
出版文献量(篇)
4988
总下载数(次)
18
总被引数(次)
47371
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