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大面积金刚石膜沉积过程中的热应力分析
大面积金刚石膜沉积过程中的热应力分析
作者:
于秀文
佟玉梅
刘敬明
吕反修
唐伟忠
黄天斌
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
摘要:
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文献信息
篇名
大面积金刚石膜沉积过程中的热应力分析
来源期刊
北京科技大学学报
学科
关键词
年,卷(期)
2000,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
153
页数
6页
分类号
字数
2753字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1001-053X.2000.02.016
五维指标
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相关学者/机构
期刊影响力
工程科学学报
主办单位:
北京科技大学
出版周期:
月刊
ISSN:
2095-9389
CN:
10-1297/TF
开本:
大16开
出版地:
北京海淀区学院路30号
邮发代号:
创刊时间:
1955
语种:
chi
出版文献量(篇)
4988
总下载数(次)
18
总被引数(次)
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