用有限元模拟的方法研究大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力

• 作者: 佟玉梅 刘政 吕反修 唐伟忠 宋建华 李成明 牛得草 陈广超
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 有限元 热应力 钛过渡层 自支撑金刚石膜
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 345-349,355
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3236字
• 语种: 中文

摘要

建立了没有过渡层和有过渡层的有限元模型,对大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力进行了研究.分别计算了在常用金属材料钼、钨、镍作衬底和用镀有钛过渡层的钼作衬底的情况下,膜/衬底间的热应力分布情况.模拟与实验的结果表明,在大面积自支撑金刚石膜沉积过程中,采用镀有钛过渡层的钼作衬底有利于热应力的释放,从而可能制备出高质量的大面积无裂纹金刚石膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘政	北京科技大学材料科学与工程学院	17	139	7.0	11.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	陈广超	北京科技大学材料科学与工程学院	27	235	9.0	14.0
4	宋建华	北京科技大学材料科学与工程学院	29	265	11.0	14.0
5	李成明	北京科技大学材料科学与工程学院	71	480	12.0	19.0
6	佟玉梅	北京科技大学材料科学与工程学院	22	268	10.0	15.0
7	牛得草	北京科技大学材料科学与工程学院	3	14	3.0	3.0