平面二自由度并联执行机构的设计与实现

• 作者: 吴学忠 吴宇列 李圣怡
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 并联执行机构 奇异性 冗余
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 机电工程.电子工程
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TP164
• 字数: 1502字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2486.2001.01.010

摘要

介绍了作者研制的一种用于半导体制造设备上的x-y并联执行机构。通过增加一个冗余运动链，使得该机构在工作空间内没有奇异点。该机构的最大特点是可以大大减少现有机构的体积，并具有较高的刚度，可以在高速运动条件下具有较高的运动精度和跟踪性能。实验结果表明，该系统的轨迹跟踪误差均低于0.5!mm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学机电工程与自动化学院	70	934	18.0	28.0
2	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
3	吴宇列	国防科技大学机电工程与自动化学院	37	318	9.0	16.0