PZT厚膜UCPBG结构的射频天线研究

• 作者: 任天令 刘理天 林州 赵宏锦
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 字:丝网印刷 锆钛酸铅 平面光子带隙 射频天线
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 实验技术与测试方法
• 页码范围: 397-401
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 3091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2001.05.023

摘要

采用了丝网印刷工艺在硅片上制备了锆钛酸铅(PZT)薄膜,进行了相应的工艺分析.设计并仿真了平面光子带隙(UCPBG)结构,测试了结构的电磁参数,证实了结构的可行性.在此基础上提出了一种基于PZT厚膜工艺和平面光子带隙结构的微型射频(RF)天线结构与工艺设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	林州	清华大学微电子学研究所	2	11	2.0	2.0
4	赵宏锦	清华大学微电子学研究所	7	77	5.0	7.0