钇钡铜氧半导体薄膜的宽光谱响应特性

• 作者: 万春明 刘向东 刘景和 孙强 李丹 李国栋 李建立 李艳红 黄宗坦 黄承彩 黄江平
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钇钡铜氧半导体薄膜 测辐射热计 宽光谱响应
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1387-1391
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.9
• 字数: 2697字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.11.007

摘要

对以Si为衬底的钇钡铜氧(分子式:Y1Ba2Cu3O7-δδ≥0.5,简称:YBCO)半导体薄膜的宽光谱响应特性进行了研究.采用该薄膜作灵敏元的单元测辐射热计分别对红外波段(1-15μm)、亚毫米波段(5个波长)及毫米波(3mm)进行光谱响应测试,结果表明这种半导体探测器不仅在红外波段,而且在亚毫米波甚至毫米波段都有良好的响应特性.该薄膜是继VO2薄膜之后用于非制冷红外焦平面的一种新材料.