多层膜周期厚度的精确计算

• 作者: 冯仕猛 窦晓鸣 范正修 赵海鹰 邵建达
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 多层膜 X射线衍射角度 周期厚度
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1027-1030
• 页数: 4页
• 分类号: O434
• 字数: 2308字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2002.11.017

摘要

布拉格修正公式可以用于计算基底是平面的软X射线多层膜周期厚度,但对于基底是曲面的多层膜,小角X射线衍射峰角度常常发生漂移,用该公式计算的周期厚度就与实际周期厚度不一致.分析了衍射峰角度位置漂移现象,对以布拉格公式为基础的多层膜周期厚度计算公式进行了修正,实验结果显示,利用修正公式获得的多层膜周期厚度比较接近多层膜实际周期厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	窦晓鸣	上海交通大学应用物理系	26	352	10.0	18.0
4	冯仕猛	上海交通大学应用物理系	39	143	7.0	9.0
5	赵海鹰	上海交通大学应用物理系	16	185	6.0	13.0