溅射靶材综述

• 作者: 张青来 贺继弘
• 来源期刊: 上海钢研
• 关键词: 溅射 靶材 薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 30-41
• 页数: 12页
• 语种: 中文

摘要

本文主要对各领域应用的溅射靶材及其制备方法,并对薄膜镀膜方法和其应用领域作了介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺继弘		4	3	1.0	1.0
2	张青来		1	0	0.0	0.0