用溅射法制备混合集成电路中的Ci·SiO薄膜电阻器

• 作者: 殷小莉 王军峰
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: Ci·SiO薄膜电阻器 混合集成电路 溅射 TCR
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 页码范围: 46-47
• 页数: 2页
• 分类号: TN45

摘要

介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法，通过大量的实验及不断的工艺优化，制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的薄膜电阻器基片，并已投入批量生产。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王军峰		2	0	0.0	0.0
2	殷小莉		2	0	0.0	0.0