几种高温高频压力传感器的研制与开发

• 作者: 张文钊 李水霞 王文襄 王晋林
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高温压力传感器 动态频响 MEMS技术 SOI技术 齐平封装
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 413-416
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 3979字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2002.z1.085

摘要

本文介绍了几种在高温工况下使用的动态压力传感器的设计、研制与开发,它们都是采用基于MEMS技术的SOI技术制作的,低至零频,高至数百赫兹的宽的动态频响使它们在兵工测试领域有着良好的应用前景,可望解决一些传统传感器难以解决的问题.